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2019 - 11 - 21
1、真空泵的工作壓力應滿足真空設備的極限真空和工作壓力要求。例如,真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg,所選真空泵的真空度必須至少為5 × 10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設備的真空高一半數量級。  2、正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍,例如:擴散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內,泵的抽速隨壓力而變化,其穩定的工作壓力范圍為5 × 10-4?5 × 10-6mmHg。因此,泵的工作點應在此范圍內選擇,并且不應在10-8mmHg的環境下長時間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作,但其工作壓力應小于10-20mm 10-5mmHg?! ?、真空泵應該能夠在真空設備的工作壓力下清除真空設備過程中產生的所有氣體?! ?、正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能,因此有時一個泵無法滿足泵送要求,因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如,鈦升華泵對氫的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當結合使用時,真空裝置將具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓,因此需要前級泵,因此必須將這些泵組合在一起。  5、真空設備油污的要求。如果嚴格...
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2019 - 11 - 24
一、進氣管和泵體內有空氣  1、高溫離心泵之前未充滿令人滿意的水。似乎已充滿的水已從排氣孔溢出,但尚未使泵軸翻倒的空氣被完全排出,導致少量空氣殘留在進氣管或泵體內?! ?、高溫離心泵接觸的進水管水平截面在逆流方向上使用的下坡度為0.5%或更大,并且水泵進水口的端部很高,但不完全水平。假設向上傾斜,空氣將殘留在進水管中,從而降低了水管和泵中的真空度,從而影響了吸水率?! ?、長時間使用會導致高溫離心泵的密封墊磨損或密封墊太松,從而造成大量的水從密封墊和泵軸襯套的空位中噴出。結果是外部空氣從這些空缺進入。泵的內部影響水的提升。  4、由于水下的長期潛能,進水管被腐蝕。高溫離心泵工作后,水面不斷下降。當這些孔顯示出水面時,空氣會從該孔進入民進水管?! ?、進氣管彎曲處有裂紋,進氣管和泵之間的連接處松弛,這可能導致空氣進入進氣管?! 《⑽μ蟆 ∫恍┧锤?,一些水源的外部地形更平坦,并且忽略了高溫離心泵的允許吸程,從而產生了吸水少或不吸水的效果。有必要知道,可以在泵的吸水口處建立的真空度是有極限的。真空吸力必須高約10米,離心泵可能無法建立一定的真空度。而且,真空度太大,并且泵中的水容易汽化,并且使泵備用。因此,每個離心泵都有其較大的允許吸入范圍,通常在3-8.5米之間。泵送設備時,不應簡化。  三、高溫離心泵水流的進,出口管阻力太大  一些用戶已經測量到,盡管從水庫或水塔到水源的垂...
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2019 - 11 - 27
如何選擇質量好的羅茨螺桿真空機組呢?  如何選擇羅茨螺桿真空機組,應注意什么?怎樣選擇好的真空機組?但是選擇真空機組選擇正確的壓力,否則將無法達到企業的目的。接下來,將詳細介紹如何選擇優質的真空機組?  羅茨泵真空機組的組成,羅茨泵與前級泵之間的抽速比的選擇非常重要。由于旋轉泵的壓縮比有限。該壓縮比決定了前級泵的容量,因為壓縮比與兩者的泵送速度成反比。通常,壓縮比選擇在2?10之間。其他壓縮比應考慮對預抽時問的要求。真空設備在各種機械設備中用作輔助設備。如果正常工作時間比預泵送時間長得多,則可以選擇更小的前級泵(壓縮比可以更大)。為了快速進行預泵送,請使用較大的前級泵。有時為了更好地利用設備的效率,在設備前安裝了一個較大的預泵,該泵在正常運行后會停止運行,并使用更小的前級泵進行維護。這樣做是為了節省電量?! ∵x擇前級泵時,還必須考慮對真空機組的極限壓力的要求。極限真空度更高(高達1×10-3Pa?1×10-2Pa壓力)。通常,前級泵使用兩級旋轉葉片型油封機械泵或兩級滑動泵。前級泵可以在(1×10-2Pa?1×10-1Pa)之間選擇單級油封機械泵,以達到最高真空度。往復式真空泵或020- 9型真空泵用作前級泵?! ‘斶x擇往復式或液環粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,前級泵的泵速通常是羅茨真空泵的泵速的1/2-1/4。壓縮比太大,導致羅茨真空泵的...
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2019 - 11 - 29
旋片真空泵使用后進行維護時應注意什么?日常維護的要點是什么?今天,旋片真空泵的廠家將分析真空泵的維護和維修要點?! ?. 氣鎮閥的使用基本上有兩點,一是相對濕度為增高,另一是所泵送的氣體中含有蒸氣狀液體?! ?.球閥的安裝也是必要的,因為如果將球閥安裝在調壓器和被測泵之間,它將減少對調壓器的損壞并延長使用壽命?! ?.在設備操作期間,您必須知道轉向方向。如果您不知道轉向方向,則必須通過其他方法獲得它。當泵打開時,吸力為正,吹氣力為反向。  4.旋片真空泵油的選擇還應根據型號和要求選擇正確的真空泵油?! ?.旋片真空泵有許多燃料噴射原因。通常,會有回油或反向燃油噴射。為避免這種情況,必須首先打開泵端口,然后通過正確的轉向將儲油盤轉入燃油箱。添加到正確的油位?! ?.寄回新的旋片真空泵后,請首先檢查復選框,以查看在運輸過程中是否損壞了泵。接下來,按照說明安裝泵,連接電源,然后將水冷泵連接到水?! ⌒婵毡帽pB:  1.清潔機柜的外部。關閉電源后,請每月至少使用柔軟的干布擦拭機柜外部的灰塵?! ?.清潔進氣濾清器消聲器,濾清器濾清器的濾棉清潔非常重要,它直接影響到真空汞流量的壽命,至少每月一次。  3.在使用過程中,擰緊底座和減震腳的固定螺栓,并盡可能將其放置在清潔通風的地方?! ?.使用真空汞時,請勿觸摸機器上的任何組件。  5.本產品為無油真空汞。嚴禁潤滑?! ?.長時間不使用產品...
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2019 - 12 - 04
在使用水環真空泵時,會發現它的運行效率是快是慢,這無疑會對生產產生一定的影響。在驗證之后,已知真空泵的排氣壓力與其工作效率有關。原因是當真空泵工作時,會排放一些氣體,并且在排放過程中會降低壓力。壓力將決定其工作效率。讓我們仔細討論一下.  1、排氣壓力將對水環真空泵的吸入量和軸的運行功率產生巨大影響。當系統運行時,如果其排氣壓力較大,則其吸氣量將較小,并且相應的軸將消耗更多的功率。相反,系統排氣壓力越小,泵的吸力越大,相應軸的功耗越小。  2、在實際的操作和維護過程中,應實時觀察水環真空泵系統的排氣壓力數據。當出現異常排氣壓力數據時,應立即采取相應措施更新和改造整個真空系統,以使真空系統排氣壓力長時間保持在國家標準或制造商建議的值范圍內,以確保泵始終處于良好的工作狀態,并提高了泵的整體機械效率。當真空泵工作時,空氣不斷從泵體排出,以在吸入口形成所需的真空度?! ∫虼?,為了確保水環真空泵的良好使用,我們必須充分了解其排氣壓力,并掌握調節排氣壓力的方法。應當注意,真空泵的真空度可能導致其真空度下降。此時,為了滿足生產需要,有必要及時采取相關措施,使真空泵正常運行。  深圳恒才機電設備有限公司以“誠”為本, 持之以“恒”,賦之以“才”,以我們的專業和專注來忠誠地服務每一個客戶, 提供給客戶持續和穩定的解決方案,帶給客戶無盡的財富, 是我們“恒才”的職責。如果您需要水環真空泵,旋片真空泵,...

晶圓吸附與切割用水環式真空泵組

作者:
時間: 2024-08-02
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在半導體制造業的精密世界里,晶圓吸附與切割技術無疑是構建微觀電子奇跡的基石。這一過程中,水環式真空泵組以其獨特的優勢,尤其是當它由多臺司倍克水環真空泵組成時,更是展現出了無與倫比的效率與穩定性,為晶圓處理提供了強有力的支持。


水環式真空泵組,水環真空泵組



一、水環式真空泵組的工作原理


水環式真空泵,顧名思義,是通過在泵體內形成一個旋轉的水環來工作的。當葉輪偏心旋轉時,水環與葉輪之間的空間被周期性地縮小和擴大,從而產生真空效應。在晶圓吸附與切割環節,這種真空效應被用來牢固地吸附住晶圓,確保其在高速旋轉或精密切割過程中保持穩定不動。而由多臺司倍克水環真空泵組成的泵組,則通過并聯或串聯的方式,進一步增強了真空系統的穩定性和抽氣能力,滿足了大規模、高效率的生產需求。


真空吸附水環真空泵



二、技術優勢與應用優勢

1.高穩定性與可靠性

司倍克水環真空泵以其精湛的工藝和優質的材料著稱,確保了長時間運行下的高穩定性和可靠性。多臺泵并聯使用時,即使某一臺泵發生故障,其他泵仍能繼續工作,有效避免了生產中斷,提升了整體生產效率。

2.強大的抽氣能力

晶圓吸附與切割過程中,需要迅速建立并保持高真空度。多臺司倍克水環真空泵組合而成的泵組,能夠迅速抽走大量氣體,實現快速建立并維持所需的真空環境,保證了晶圓處理的精度和效率。


晶圓吸附真空泵,水環真空泵



3.節能環保

相比其他類型的真空泵,水環式真空泵在運行時不需要額外的冷卻系統,且工作介質為水,減少了能源消耗和環境污染。此外,通過優化泵組的設計和運行參數,還可以進一步降低能耗,實現綠色生產。

4.易于維護與管理

司倍克水環真空泵結構緊湊,設計合理,便于日常維護和保養。同時,泵組的模塊化設計使得更換或維修單個泵變得簡單快捷,減少了停機時間,提高了設備的整體利用率。





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2025 - 01 - 07
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某大型制藥企業為了提升生產效率,決定引進司倍克水環泵用于其真空干燥生產線。在選型階段,恒才機電的銷售工程師深入了解了客戶的生產工藝、物料特性及產能需求,最終推薦了一款最適合該企業的泵型。在安裝調試過程中,恒才機電的技術團隊克服了現場空間狹小、管道布局復雜等困難,成功完成了設備安裝和調試工作。設備投入運行后,不僅顯著提高了生產效率,還降低了能耗和故障率,得到了客戶的高度評價。司倍克水環真空泵以其獨特...
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