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真空泵 Products
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2019 - 10 - 25
羅茨真空泵廣泛用于化學(xué),食品和制藥行業(yè)中的冶煉,脫氣,真空冶金軋制以及真空蒸餾,真空濃縮和真空干燥。真空泵配件是用于真空泵噪音管理的真空泵消音器。羅茨真空泵應(yīng)用這么廣泛,它的操作方法大家應(yīng)該熟記于心,下面我們再來看看它的操作方法,小伙伴們可要記住啦!  一,羅茨真空泵操作準(zhǔn)備工作  1.操作員必須閱讀產(chǎn)品說明手冊?! ?.在使用產(chǎn)品之前,請確保長時間沒有產(chǎn)品因環(huán)境因素引起的影響。  3.如果在工作期間發(fā)現(xiàn)異常噪音和振動,請停止操作?! ?.電氣設(shè)備外殼必須接地或連接到零?! 《?羅茨真空泵操作開始前的準(zhǔn)備  1.檢查水泵(前級泵)的水位是否達到水箱的3/4。如果不足,請補上。  2.檢查水箱中使用的水是否干凈。禁止使用含沉淀物的污水,以免堵塞管道,增加泵葉輪的磨損,增加電機造成的負(fù)荷,并影響水泵的使用壽命?! ?.檢查中間泵和主泵中潤滑油的油位。它必須達到油窗的3/4。檢查潤滑油的顏色。如果乳白色或黑色雜質(zhì)更多,請通知機器以更換潤滑油?! ?.檢查中間泵和主泵循環(huán)冷卻水通道是否完好,打開循環(huán)冷卻水的進,出口閥,檢查循環(huán)冷卻水的進,出口是否正常?! ?.檢查中間泵底部緩沖罐的排水閥是否關(guān)閉?! ?.檢查真空泵機組的電路是否完好,控制柜的說明是否正常。  7.檢查真空泵機組電極接觸壓力表的中間泵和主泵的啟動壓力是否正常(中間泵的入口壓力大于0.065Mpa,主泵的入口壓力大于0.065...
2019 - 11 - 05
真空泵的作用是從除了氣體分子的真空室抽真空,以減少在所述真空室中的氣體壓力,以便達到所需的真空度。廣義地從大氣中高真空具有大的范圍內(nèi),到目前為止還沒有一個真空泵可以覆蓋該范圍?! ∫虼?,為了實現(xiàn)不同的產(chǎn)品的過程指標(biāo),和工作的設(shè)備的工作壽命要求效率,不同的真空部分需要選擇真空泵的不同的配置?! 榱双@得最佳的配置,選擇了真空系統(tǒng),真空泵的選擇應(yīng)考慮以下幾點:  1,真空泵的最終壓力應(yīng)滿足工藝的操作壓力。通常選擇的泵壓力低于極限過程需要約一個數(shù)量級的。  2,每個泵具有一定的工作壓力范圍內(nèi),因此,泵的工作點應(yīng)該在此范圍內(nèi)選擇,但不能得到它的工作的允許工作壓力以外長時間?! ?,在其工作壓力的真空泵,應(yīng)能排走設(shè)備過程中產(chǎn)生的真空的總氣體量。  4,選擇真空機組:  (1)當(dāng)一個不能滿足排氣泵和真空要求,它需要多個泵組合,以滿足工藝要求相互補充。  (2)一些真空泵不能在大氣壓力下工作,需要預(yù)先真空;一些泵出口壓力低于大氣壓,前級泵所需的泵需要組合使用古都。通過結(jié)合使用真空泵,我們稱之為真空泵機組,它能使真空系統(tǒng)得到較好的真空度和位移。我們應(yīng)該選擇真空泵,真空泵的正確組合,因為不同的氣體對泵送要求不同的要求,例如:一般羅茨 - 不適用于旋轉(zhuǎn)葉片機系統(tǒng)包含更多的冷凝性氣體?! ?,當(dāng)你選擇一個泵的密封,你應(yīng)該先找出如果油污真空系統(tǒng)的要求。如果無油設(shè)備的嚴(yán)格要求,應(yīng)選擇各種無油泵,如:水環(huán)泵,...
2019 - 11 - 06
在人們的通常意識中,工業(yè)行業(yè)中的機械設(shè)備通常都是可以單獨使用的,就有很多客戶對于羅茨真空泵不能單獨使用的問題詢問了我們,大家都充滿了疑問,那么,導(dǎo)致其不能單獨使用的原因是什么呢?詳細(xì)分析如下?! ×_茨真空泵一般在使用的時候,需要配置前級泵,可以起到提高抽速和真空度的作用?! 」ぷ鳁l件:該真空泵的啟動一定要待前級泵抽到羅茨泵的允許啟動壓力時才可啟動,直接啟動或者未達到氣壓要求啟動,將會導(dǎo)致泵負(fù)載過大,燒毀電機。  這種泵的啟動壓力為其較大壓差的1.5倍左右。如:羅茨真空泵的較大壓力差是6000pa=60mbar,那么,它的啟動壓力就是水環(huán)泵將系統(tǒng)壓力抽到90mbar時才可啟動,如果前級泵為水環(huán)泵,為了防止水環(huán)泵的循環(huán)水反流進入羅茨泵的油箱,那么,羅茨泵和水環(huán)泵之間就一定要安裝止回閥?! ∠嘈艔囊陨系墓ぷ鳁l件中就能讓你們了解到羅茨真空泵不能單獨使用的原因了,它在工作過程中一定要與前級泵相互配合,才能保證正常安全地工作效果。同時我們也要注意,羅茨真空泵在工作過程中的啟動壓力也是十分重要的,一定要控制好。  好了現(xiàn)在羅茨真空泵的不能單獨使用的原因也找到了,那我們就來介紹一下羅茨水環(huán)真空機的工作原理  對于較高的羅茨水環(huán)真空機組不能直接排放大氣,例如直接排氣會導(dǎo)致羅茨水環(huán)真空機組的吸氣口和排氣口壓力差太大,從而使羅茨真空泵超負(fù)荷,例如簡單地增加020 -2電動機的電源將導(dǎo)致羅茨水環(huán)真空機組過...
2019 - 11 - 08
光伏是太陽能光伏系統(tǒng)的縮寫。它是一種新型的發(fā)電系統(tǒng),利用太陽能電池半導(dǎo)體材料的光電效應(yīng)將太陽輻射能直接轉(zhuǎn)換為電能。它是一種可再生資源?! 〗陙恚夥l(fā)電是國家鼓勵的綠色電力發(fā)展能源項目。光伏的普及在環(huán)境保護中起到了非常好的作用。按年發(fā)電量2224萬千瓦時計算,年均節(jié)約7398.7噸標(biāo)準(zhǔn)煤,減少二氧化碳排放量約22353.1噸,減少二氧化硫排放量672.6噸,減少氮氧化物排放量336.3噸,環(huán)境效益非常明顯?! 」夥l(fā)電與真空泵之間有什么關(guān)系?  晶體硅,CdTe,CIGS或硅薄膜技術(shù)的各種工藝用于生產(chǎn)捕獲日光并將其轉(zhuǎn)換為能量的光伏電池,這與真空技術(shù)的發(fā)展密不可分。從拉晶硅到太陽能電池的生產(chǎn),再到太陽能電池組件的層壓,在制造過程中不可能沒有真空。無論是專注于結(jié)晶還是薄膜涂覆,都沒關(guān)系,提供量身定制的真空解決方案是光伏生產(chǎn)的關(guān)鍵因素?! √柲茈姵貙訅汗に嚢ㄔ谶B接前后保護板的同時包裝太陽能電池。為了獲得最佳效果,干式螺桿真空泵可提供真空抽速,是此應(yīng)用的理想選擇?! ≡撃な且粚硬牧希浜穸确秶鷱募{米到幾微米。在過去的幾十年中,薄膜技術(shù)得到了改進,需要可靠的產(chǎn)品才能達到最佳質(zhì)量。對于薄膜沉積工藝,可以使用高性能的干螺桿真空泵來提供一流的真空設(shè)備,以滿足該應(yīng)用的要求。  進口干螺桿真空泵的性能特點  1、工作室中沒有介質(zhì)可以產(chǎn)生干凈的真空?! ?、工作室和螺桿轉(zhuǎn)子的表面均涂有防腐涂層,以...
2019 - 11 - 12
概述螺桿真空泵設(shè)備是一種大批量產(chǎn)品,它是真空工程必不可少的基本組件。近年來,隨著真空技術(shù)應(yīng)用的不斷擴大,各種螺桿真空泵設(shè)備的增長也非常迅速。為了滿足真空應(yīng)用發(fā)展的需要,特別是老產(chǎn)品不斷更新,新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),真空設(shè)備的開發(fā)進入了一個新時代。其特點是:減少泵的振動和噪音,提高長期運行的可靠性,處理大量的可凝性和揮發(fā)性氣體,減少能耗和運行成本,消除廢液處理和環(huán)境污染;需要耐腐蝕,耐灰塵和清潔,無油的真空環(huán)境?! 「鶕?jù)上述要求,獲得真空,以使設(shè)備制造商不斷改進舊產(chǎn)品的特性。例如,滑閥泵具有抽速大,性能穩(wěn)定和耐用的特點,但是其運動部件的慣性力和慣性矩引起的振動一直引起人們的關(guān)注。 羅茨泵在清潔或腐蝕過程中的應(yīng)用在半導(dǎo)體,平板顯示器,薄膜太陽能電池和其他工作條件非常惡劣的行業(yè)中,大多數(shù)設(shè)備都使用由羅茨真空泵和干式螺桿真空泵組成的真空裝置。一方面,可以減小干式螺桿真空泵的尺寸,可以提高中真空范圍內(nèi)裝置的抽速,并且可以將極限真空度提高一個數(shù)量級?! 「鶕?jù)羅茨泵的泵送機構(gòu),原則上應(yīng)無油,但是羅茨泵的轉(zhuǎn)子必須由軸承和精密同步齒輪支撐,這需要潤滑系統(tǒng)。當(dāng)真空系統(tǒng)去除腐蝕性氣體或蒸氣時,潤滑油也可能被腐蝕。  該密封件具有五點機械密封件,也就是說,除了電動真空機輸入處的機械密封件外,其他四個機械密封件也用作泵室和燃油箱之間的密封件。完全機械密封的羅茨真空泵特別適合工藝氣體具有高腐蝕性的應(yīng)用。為了防止腐蝕,...
2019 - 11 - 13
進口真空泵作為一種基本的抽氣裝置,在各個行業(yè)中都有廣泛的應(yīng)用,其類型眾多,無論是在生活中還是在生產(chǎn)過程中,真空泵用戶都鐘愛該領(lǐng)域,包括塑料機械,農(nóng)藥化工,染料化工,制磚機械,低溫設(shè)備,造紙機械,制藥和化工,食品機械,工業(yè)電爐,電子工業(yè),真空設(shè)備,石油化工,冶金,采礦和地基處理等,由于其結(jié)構(gòu)簡單緊湊,因此對抽氣中的粉塵和水蒸氣不敏感,因此它在石油產(chǎn)品中起著重要的作用。小編通過本文引導(dǎo)大家了解進口真空泵在石油產(chǎn)品中的應(yīng)用。  什么是石油?石油是易燃的液體礦物,在公元初期被中國勞動人民發(fā)現(xiàn)并使用。顏色主要是黑色,棕色或深綠色,偶爾是黃色。通常,油比水輕。石油的密度大部分為0.77至0.96 g/cm3。石油是碳?xì)浠衔锏膹?fù)雜混合物。在石油的成分中,碳含量為約84-85%,氫含量為約12-14%,并且存在少量的包含硫,氧和氮的有機化合物。另外,在石油中發(fā)現(xiàn)了少量的鐵,鎳,銅,鉛,釩,砷,鎂,磷,鉀,硅,鈣,錳和其他元素?! ∈彤a(chǎn)品通常是指通過煉油廠加工獲得的各種產(chǎn)品。  進口真空泵的結(jié)構(gòu)特點,主要有以下幾點:  1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;  2、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;  3、真空泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;  4、真空泵腔內(nèi)無壓縮,無排...
2019 - 11 - 15
水環(huán)真空泵目前用于需要一定真空度的設(shè)備中,并用于維持真空度。目前,設(shè)備仍將沒有足夠的輸出。主要影響因素是閥門,工作液的高度和溫度以及冷卻液溫度。關(guān)于冷卻器的清潔度,今天我們討論工作液和閥門影響輸出的兩個方面。  1、閥門內(nèi)部泄漏  由于閥門的材料和閥門的研磨工藝及其產(chǎn)品的質(zhì)量較差,因此閥門的關(guān)閉并不嚴(yán)格。這樣,一方面會影響機組的真空,導(dǎo)致真空度降低,另一方面,會浪費系統(tǒng)的熱蒸汽,從而降低了系統(tǒng)的生產(chǎn)成本。增加。在對內(nèi)閥泄漏進行專業(yè)檢查一周后,檢查發(fā)現(xiàn)主蒸汽主管和主閥的前蒸汽門存在內(nèi)部泄漏。發(fā)現(xiàn)在水環(huán)真空泵之前設(shè)計的再加熱主蒸汽閥是疏水的。通過孔板后,機會直接進入排氣裝置。因此,當(dāng)機器關(guān)閉時,在重新加熱主蒸汽閥之前,將主蒸汽管重新磨碎并在蒸汽管上安裝手動門。這可以有效地解決閥內(nèi)部的泄漏問題,從而可以保持輸出。正常情況下,避免影響輸出效率,有效提高生產(chǎn)效率。  2、閥門密封效果差  在設(shè)備的每個末端,柔性通風(fēng)口都有自己的閥門。它們的主要目的是避免腔體內(nèi)壓縮不充分的問題,以確保整套設(shè)備的工作效率。閥的狀態(tài)設(shè)計成使得閥的下端緊貼設(shè)備的截面盤,而上端為“ S”形。但是,這樣的設(shè)計在長時間使用后會造成應(yīng)力累積,這很可能導(dǎo)致閥板損傷破裂。在正常情況下,如果一側(cè)的閥門破裂,溫度將突然下降氣管,并且水環(huán)真空泵設(shè)備會劇烈晃動。如果閥片的兩側(cè)同時斷裂,將導(dǎo)致真空下降,從而使能量的消耗突然增加?! ?、工...
產(chǎn)品名稱: 過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組
上市日期:2024-09-19

水環(huán)式真空機組采用SPECK水環(huán)真空泵V255,總氣量199m3/h,極限真空33mbar,電機功率5.5kw,機械密封,多重保護,100%無油設(shè)計,確保機組運行的安全、可靠。

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產(chǎn)品詳情

這套以司倍克SPECK水環(huán)真空泵為主導(dǎo)的水環(huán)式真空機組,可應(yīng)用于化工和醫(yī)藥領(lǐng)域過濾、干燥、攪拌以及化學(xué)反應(yīng)等方面,深圳恒才機電設(shè)備有限公司憑借綜合專有真空技術(shù),為您打造真空工藝解決方案。

水環(huán)式真空機組采用SPECK水環(huán)真空泵V255,總氣量199m3/h,極限真空33mbar,電機功率5.5kw,機械密封,多重保護,100%無油設(shè)計,確保機組運行的安全、可靠。


1、本機組是無須專人維護,少易損易耗件;

2、水環(huán)真空機組可24H連續(xù)運行;

3、多年運行,使用效率高,無磨損。

4、冷凝器(殼管換熱器),符合ASME標(biāo)準(zhǔn)


深圳恒才機電設(shè)備有限公司可供產(chǎn)品為全新的、技術(shù)先進的、質(zhì)量高的、滿足設(shè)計參數(shù)要求,且在正常工作條件下不會出現(xiàn)因設(shè)計、選材、制造失誤造成的設(shè)備缺陷。


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產(chǎn)品名稱:

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組

上市日期: 2024-09-19

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組


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過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組

過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機組


Case / 案例展示
2024 - 09 - 18
點擊次數(shù): 77
這是客戶剛落地的新項目,了解到深圳恒才機電在真空方案設(shè)計、真空設(shè)備配套方面有豐富經(jīng)驗,而選擇了我們,在經(jīng)過一番探討后,確定了牙科室內(nèi)所需電動抽吸負(fù)壓配套的方案及真空設(shè)備。深圳恒才機電提出的負(fù)壓應(yīng)用方案:為牙科科室設(shè)計了中央真空系統(tǒng),采用4臺DZS300和2臺DZS150干式爪泵,搭建成集中抽真空模式即中央真空系統(tǒng),這么做的目的是可以確保真空度穩(wěn)定,更方便統(tǒng)一管理。Atlas阿特拉斯DZS干式爪泵A...
2024 - 08 - 28
點擊次數(shù): 27
PET片材擠出是一種將熔融狀態(tài)的塑料,通過模具擠出成型片材的工藝過程。在這一過程中,真空系統(tǒng)及時排除擠出過程中產(chǎn)生的氣體、水分及揮發(fā)物,確保擠出片材的均勻性、平整度和透明度。若真空系統(tǒng)效率低下或失效,將直接導(dǎo)致片材表面出現(xiàn)氣泡、條紋、凹陷等缺陷,嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量,甚至造成生產(chǎn)中斷,因此選擇穩(wěn)定性強的真空設(shè)備很關(guān)鍵,片材擠出機真空設(shè)備推薦使用羅茨水環(huán)真空機組。片材擠出機配套羅茨水環(huán)真空機組的優(yōu)勢1....
2024 - 08 - 02
點擊次數(shù): 26
以某大型塑料管材擠出生產(chǎn)線為例,該生產(chǎn)線采用先進的羅茨水環(huán)真空機組作為配套抽真空系統(tǒng)。在生產(chǎn)過程中,機組高效運行,不僅顯著提升了管材的擠出速度和質(zhì)量,大幅降低了因氣體殘留導(dǎo)致的廢品率。同時,由于機組的高效節(jié)能特性,生產(chǎn)線整體能耗較傳統(tǒng)抽真空方式降低了約20%,為企業(yè)帶來了可觀的經(jīng)濟效益。塑膠擠出配套集中抽真空系統(tǒng),其性能直接影響到最終產(chǎn)品的品質(zhì)與成本。塑膠擠出配套羅茨水環(huán)真空機組概述:羅茨水環(huán)真空...
2024 - 05 - 11
點擊次數(shù): 40
在造粒生產(chǎn)中,原料經(jīng)過加熱、混合、擠壓等步驟后形成顆粒,然而,這個過程中往往會產(chǎn)生大量的油汽和粉塵雜質(zhì),油汽主要由原料中的揮發(fā)性物質(zhì)和加熱過程中產(chǎn)生的氣體組成,而粉塵則是由原料顆粒破碎或磨損產(chǎn)生的微小顆粒。深圳恒才真空過濾系統(tǒng),在造粒工藝中起著至關(guān)重要的作用,它主要用于過濾掉生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的油汽和粉塵雜質(zhì),確保生產(chǎn)中真空泵能穩(wěn)定運行和產(chǎn)線的環(huán)保。恒才造粒產(chǎn)線過濾系統(tǒng)包括預(yù)過濾器、主過濾器、油氣分離...
2023 - 05 - 10
點擊次數(shù): 57
客戶的醫(yī)療制藥提取車間需要對現(xiàn)有的真空系統(tǒng)進行改造,深圳恒才機電設(shè)計節(jié)能環(huán)保的水環(huán)真空機組,用于提取車間注射劑提取生產(chǎn)工序真空濃縮,。制藥濃縮真空負(fù)壓系統(tǒng)改造方案客戶提出的要求:真空設(shè)備運行穩(wěn)定、性能成熟、操作方便、產(chǎn)量滿足需求、性價比高,且要求真空設(shè)備在設(shè)計、制造技術(shù)及性能上達到國內(nèi)先進水平。深圳恒才機電專注真空領(lǐng)域已經(jīng)有十余載,在各行業(yè)的真空技術(shù)也得到普遍認(rèn)可和好評。下述為深圳恒才機電為客戶設(shè)...
推薦產(chǎn)品 / Products
與傳統(tǒng)真空設(shè)備相比,水環(huán)真空機組在晶圓吸附切割技術(shù),通過精確控制切割工具與晶圓表面的接觸力度與角度,結(jié)合高效的真空吸附系統(tǒng),實現(xiàn)了對晶圓的高效、精準(zhǔn)切割。這一過程中,晶圓吸附切割水環(huán)真空機組作為核心設(shè)備,發(fā)揮了至關(guān)重要的作用。真空度穩(wěn)定:水環(huán)真空機組提供穩(wěn)定的真空環(huán)境,確保晶圓在切割過程中能夠牢固地吸附在切割平臺上,避免因振動或外力干擾導(dǎo)致的切割偏差或損壞。水環(huán)真空機組還具備良好的密封性和耐腐蝕性,能夠有效防止塵埃、雜質(zhì)等污染物進入切割區(qū)域,保證晶圓切割的潔凈度和精度。其結(jié)構(gòu)簡單、運行穩(wěn)定,維護成本低廉水作為工作介質(zhì),環(huán)保無污染水環(huán)真空機組具有較寬的抽氣范圍和較強的抽氣能力,能夠滿足不同規(guī)格、不同材質(zhì)的晶圓切割需求。在實際應(yīng)用中,晶圓吸附切割水環(huán)真空機組已廣泛應(yīng)用于集成電路、微電子、光電子等領(lǐng)域的晶圓切割工藝中。例如,在先進制程的CPU、GPU等高性能芯片的制造過程中,晶圓吸附切割水環(huán)真空機組以其卓越的真空性能和穩(wěn)定性,確保了芯片切割的精度和成品率,為產(chǎn)品的高性能和低成本生產(chǎn)提供了有力保障。
發(fā)布時間: 2024 - 09 - 05
水環(huán)式真空泵機組在塑膠造粒行業(yè)中的應(yīng)用具有顯著優(yōu)勢。這些優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面: 1、水環(huán)式真空泵結(jié)構(gòu)簡單,沒有易損件,因此具有較高的可靠性和穩(wěn)定性,能夠長時間穩(wěn)定運行。在造粒行業(yè)中,這種穩(wěn)定性對于確保生產(chǎn)線的連續(xù)運行至關(guān)重要。 2、在塑膠造粒過程中,可能會產(chǎn)生具有腐蝕性的氣體或顆粒,水環(huán)式真空泵能夠很好地應(yīng)對這種情況。 3、水環(huán)式真空泵具有較快的抽氣速度,能夠快速將容器內(nèi)的氣體抽出。在造粒行業(yè)中,這有助于提高生產(chǎn)效率,減少生產(chǎn)周期,從而降低生產(chǎn)成本。 4、塑膠造粒過程中會產(chǎn)生含有水蒸氣的氣體,而水環(huán)式真空泵系統(tǒng)設(shè)計冷卻裝置能夠很好地處理這種氣體,解決蒸汽問題。5、水環(huán)式真空泵系統(tǒng)在運行過程中噪音和振動較低,有助于改善工作環(huán)境,減少噪音對操作人員的影響。6、水環(huán)真空泵系統(tǒng),前置過濾粉塵雜質(zhì)設(shè)計,解決塑膠顆粒生產(chǎn)中,管道堵塞問題7、水環(huán)真空泵系統(tǒng)的設(shè)計能使汽水和油霧分離,在塑膠行業(yè)中水形成閉環(huán)處理,解決水污染和浪費問題。
發(fā)布時間: 2024 - 04 - 02
真空泵系統(tǒng)在晶圓吸附中的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面:穩(wěn)定性和可靠性高:真空泵通過創(chuàng)建負(fù)壓環(huán)境,在晶圓與吸附盤之間產(chǎn)生真空區(qū)域,實現(xiàn)穩(wěn)定的吸附力,確保晶圓在加工過程中的穩(wěn)定性。機械真空吸附提供了穩(wěn)定的吸附力,有助于確保晶圓在制造過程中的精確固定,從而減小位置偏差和角度誤差的風(fēng)險。通用性強:真空泵系統(tǒng)適用于不同尺寸和類型的晶圓,具有較高的靈活性??梢赃m應(yīng)不同工藝和加工需求,為半導(dǎo)體制造提供多樣化的解決方案。維護相對簡單:真空泵系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對簡單,易于維護和保養(yǎng)。維護成本低,有助于提高生產(chǎn)效率和設(shè)備利用率。吸附力可控:通過調(diào)整真空泵的抽氣速度和真空度,可以實現(xiàn)對吸附力的精確控制。這有助于適應(yīng)不同晶圓材料和加工需求,確保吸附力的均勻性和穩(wěn)定性。減少機械損傷和污染風(fēng)險:真空泵系統(tǒng)通過非接觸式吸附(如靜電吸附和伯努利吸盤)可以減少與晶圓的物理接觸,從而降低機械損傷和污染的風(fēng)險。對于超薄晶圓或脆弱材料,這種優(yōu)勢尤為明顯。提高工作效率:穩(wěn)定的吸附力可以確保晶圓在加工過程中的穩(wěn)定性,減少因晶圓移動或滑動而導(dǎo)致的加工時間延長和廢品率增加的問題。從而提高半導(dǎo)體制造的整體效率。提高產(chǎn)品質(zhì)量:穩(wěn)定的吸附力和精確的固定位置有助于確保晶圓在加工過程中的精確性和一致性。這有助于提高半導(dǎo)體芯片的性能和可靠性,滿足市場對高質(zhì)量產(chǎn)品的需求。綜上所述,真空泵系統(tǒng)在晶圓吸附中具有穩(wěn)定性高、通用性強、維護簡單、吸附力可控、減少機械損傷和污染風(fēng)險、提高工作效率以及提高產(chǎn)品質(zhì)量等優(yōu)勢。這些優(yōu)勢使得真空泵系統(tǒng)成為半導(dǎo)體制造中不可或缺的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。
發(fā)布時間: 2024 - 06 - 14
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