三、超高真空擋板閥參數(shù)
類(lèi)型: 擋板閥
驅(qū)動(dòng)方式: 手動(dòng)/氣動(dòng)
法蘭形式: CF
閥體材料: 不銹鋼
適用真空: 超高真空
適用范圍:1×10-6pa~1.2×105Pa(波紋管密封)
打開(kāi)時(shí)閥板上的壓差:≤1.2×105a 任意方向
閥體和閥座漏率: <1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):800,000次
閥體烘烤溫度:打開(kāi)時(shí)≤200℃;關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置:任意
電源:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊規(guī)格可定做)
壓縮空氣:0.4~0.7MPa
閥門(mén)開(kāi)閉時(shí)間:≤1s
閥門(mén)位置指示:
手動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)(磁性開(kāi)關(guān))