一、大型超高真空插板閥簡(jiǎn)介
此真空閥門為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式，在結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)合理，具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，是大型真空設(shè)備自動(dòng)化首選閥門之一。真空閥門是以壓縮空氣推動(dòng)氣缸為動(dòng)力，通過傳動(dòng)桿推（拉）動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)體通過擺桿與閥板連接，從而實(shí)現(xiàn)閥門開啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。
二、大型超高真空插板閥特點(diǎn)
采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構(gòu)，閥門開啟沖擊振動(dòng)小，噪聲低；
四滾輪支撐運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，動(dòng)作平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)噪聲小；
動(dòng)密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小。
三、大型超高真空插板閥參數(shù)
類型： 插（閘）板閥?
驅(qū)動(dòng)方式： 氣動(dòng)?
閥體材料： 不銹鋼?
適用真空： 超高真空?
適用范圍：3.5×10-6Pa～1.0×105Pa
打開時(shí)插板上的壓差：≤1×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率： ≤5.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：10，000次
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置：驅(qū)動(dòng)體水平或垂直氣缸在上（特殊安裝可定做）
電源：交流220V? 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
壓縮空氣：0.5～0.7MPa
閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間：根據(jù)公稱通徑而定
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）
閥門重量：以公稱通徑的大小而定