電子封裝用水環真空泵機組具有以下優勢:
結構簡單,制造與維護便利:水環真空泵機組結構緊湊,制造精度要求不高,容易加工,一般可與電動機直聯,無需減速裝置,占地面積小,操作簡單且維修方便。這種設計不僅降低了設備成本,還減少了維護時間和成本。
工作平穩,運行可靠:水環真空泵機組的轉子和外殼之間通過水環形成密封,減少了轉子旋轉時的噪音,運行平穩且穩定性強。這種平穩的運行狀態延長了設備的使用壽命,降低了故障率,確保了電子封裝過程的連續性和穩定性。
適應惡劣工況:水環真空泵機組能夠在高溫、低溫以及惡劣環境條件下穩定運行,對氣體的壓縮接近等溫壓縮,壓縮時溫度變化小,泵內沒有相互摩擦的金屬接觸面,不易發生燃燒爆炸事故。這種特性使得水環真空泵機組特別適用于處理含有微小顆粒或水分的氣體,以及易燃、易爆等危險氣體。
密封性能好:水環真空泵機組采用水作為密封介質,具有良好的密封性能,可有效防止氣體泄漏。在電子封裝過程中,這有助于保持封裝腔室內的真空度,提高封裝質量。
安全性高:水環真空泵機組無需對泵內進行潤滑,轉動件和固定件之間的密封由水封完成,減少了因潤滑油泄漏而引發的安全隱患。同時,其穩定的運行狀態和較低的故障率也進一步提高了設備的安全性。
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