2019
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1、真空泵的工作壓力應滿足真空設備的極限真空和工作壓力要求。例如，真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg，所選真空泵的真空度必須至少為5 × 10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設備的真空高一半數量級。 2、正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍，例如：擴散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內，泵的抽速隨壓力而變化，其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5 × 10-4?5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作點應在此范圍內選擇，并且不應在10-8mmHg的環(huán)境下長時間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作，但其工作壓力應小于10-20mm 10-5mmHg。 3、真空泵應該能夠在真空設備的工作壓力下清除真空設備過程中產生的所有氣體。 4、正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能，因此有時一個泵無法滿足泵送要求，因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對氫的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當結合使用時，真空裝置將具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，因此需要前級泵，因此必須將這些泵組合在一起。 5、真空設備油污的要求。如果嚴格...