三、超高真空可調(diào)式插板閥參數(shù)
類型: 插(閘)板閥?
驅(qū)動(dòng)方式: 電動(dòng)?
法蘭形式: CF LF ISO-F GB-LP?
閥體材料: 不銹鋼?
適用真空: 超高真空?
適用范圍:1×10-6Pa~1.2×105Pa(蓋板氟膠圈密封)
打開時(shí)插板上的壓差:≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:<1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):10,000次
閥體烘烤溫度:打開時(shí)≤200℃;關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置:任意
電源:交流220V 50Hz或直流50V以下,電流最大為5.5A
閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間:可調(diào)
閥門位置指示:全關(guān)、全閉位置指示開關(guān)(微動(dòng)開關(guān)),其它位置通過脈沖來控制