光電真空系統-阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機組：真空領域和減排系統

阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機組應用領域：

分析儀器、化工、食品加工、發電解決方案、半導體、平板顯示、可再生能源（太陽能、LED照明、儲能等）、石材、印刷包裝、家具木材等行業。

半導體真空泵應用：

晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。

真空泵于半導體設備意義重大：

若半導體器件不同材料層之間混入氣體分子，會破壞器件的電學或光學性能，而真空系統可對芯片的性能和良率起決定性作用。

阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機擁有VSD和設定點控制功能，而常規的真空泵是不具備這樣的功能的，可根據實際所需真空水平或速度，提供需求的真空氣量，避免造成浪費，Atlas螺桿真空泵是真空領域的節能減排真空系統，節能可達50%，深受用戶好評。