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2020 - 11 - 25
真空煉泥是特種陶瓷中的重要環(huán)節(jié)。泥料進(jìn)行真空處理后,可塑性提高,真空脫氣后泥料經(jīng)過(guò)揉捏具有較大密度,因此燒成產(chǎn)品變形小、強(qiáng)度高、質(zhì)量好。真空煉泥機(jī)配套的水環(huán)真空泵功能的好壞,對(duì)真空煉泥起到要害的效果。  一、傳統(tǒng)煉泥機(jī)配套的真空泵  據(jù)市場(chǎng)調(diào)查了解,現(xiàn)在特種陶瓷制造廠傳統(tǒng)上運(yùn)用滑閥泵,往復(fù)泵、旋片式等油式真空泵。以滑閥泵為例,因?yàn)槭墚a(chǎn)品本身規(guī)劃的限制,在運(yùn)用過(guò)程中存在以下不足。  1.環(huán)保功能差  眾所周知,滑閥泵歸于油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵,需求真空油來(lái)密封和光滑,耗油量大。以H-150為例,注油量需40~50L,滑閥泵運(yùn)用一定年限后,因?yàn)槊芊獾睦匣瑱C(jī)械部件的磨損,不可避免會(huì)漏油,使出產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)油跡斑斑;如真空油光滑功能欠好,滑閥泵作業(yè)時(shí)偏心輪和缸體的機(jī)械沖突會(huì)發(fā)生“燒油”現(xiàn)象,作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)略微充滿(mǎn)油煙,影響工人人身健康。  2.存在污染泥料危險(xiǎn)  滑閥泵停機(jī)時(shí)如操作不當(dāng),可能會(huì)使真空油倒灌煉泥機(jī),結(jié)果是真空油污染泥料,形成泥料作廢、經(jīng)濟(jì)損失。  3.保護(hù)本錢(qián)高  滑閥泵歸于機(jī)械真空泵,內(nèi)部有沖突件,易損件較多,須常常加油光滑,保護(hù)本錢(qián)高。缸體一旦磨損后,修復(fù)作業(yè)適當(dāng)困難。  4.運(yùn)用本錢(qián)高  真空油忌諱水分的進(jìn)入,因?yàn)樗謺?huì)使真空油乳化,下降油品功能;因?yàn)闊捘鄽怏w中含有水分,污染滑閥泵內(nèi)的光滑油,每天有必要添加或替換,運(yùn)用本錢(qián)高。  5.運(yùn)用功率差  夏天氣溫高時(shí),水易氣化,形成油環(huán)式真...
2020 - 12 - 07
在真空泵的工作過(guò)程中,無(wú)需使用油或密封液作為泵空氣通道中的介質(zhì)。在使用時(shí),它依靠運(yùn)動(dòng)和靜態(tài)蝸殼的相對(duì)旋轉(zhuǎn)來(lái)形成吸入腔和壓縮腔。氣體將被抽出。排氣,連續(xù)抽吸終止,水環(huán)真空泵壓縮和排氣過(guò)程。因此,如何防止泄漏和解決密封問(wèn)題特別重要。渦旋泵密封件主要包括軸向齒輪空間的徑向密封件。  頂部密封件用于與真空泵的齒側(cè)密封件和頂部密封件接觸。在動(dòng)盤(pán)齒和靜盤(pán)的上表面上設(shè)有螺旋槽。特殊材料密封條嵌入螺旋槽中,并且密封條相對(duì)于螺旋線在圓周方向上滑動(dòng)。因?yàn)樗话停悦芊饧仨毮湍ィ透邷夭⑶揖哂幸欢ǖ娜渥冃阅堋K牟牧希叽绾臀恢脤?duì)于泵的長(zhǎng)期良好運(yùn)行至關(guān)重要。  真空泵齒側(cè)的密封是氣室與大氣之間的密封。通常認(rèn)為齒側(cè)密封是決定螺桿泵的泵送性能的主要因素之一。對(duì)于齒側(cè)密封,通常是通過(guò)修改粗螺旋的壁,選擇工作空間來(lái)完成的,以便泵在達(dá)到工作溫度時(shí)具有較小的網(wǎng)眼間隙,從而達(dá)到密封目的保證泵的最終真空度也是必要條件。由于動(dòng)輥和靜輥在工作時(shí)會(huì)發(fā)生熱變形,并且變形量不同,因此較小的旋轉(zhuǎn)空間會(huì)隨工作條件而變化。如果空間太大,則最終真空將難以實(shí)現(xiàn),并且空間太小。它們之間將發(fā)生摩擦甚至咬死,從而導(dǎo)致溫度突然升高,破壞輥筒壁,并導(dǎo)致咬死和泵故障,因此,確定間隙尺寸對(duì)設(shè)計(jì)人員來(lái)說(shuō)是個(gè)挑戰(zhàn)。頂部密封和側(cè)面密封是渦旋泵性能的保證。  真空泵是一種堅(jiān)固的真空泵。由于其緊湊的結(jié)構(gòu),平衡可靠的任務(wù)以及平均的流量,它被用于運(yùn)輸易燃易爆...
2020 - 12 - 17
不管水環(huán)真空泵是抽空氣還是水,使用是應(yīng)該沒(méi)有泄漏的。使用前將仔細(xì)檢查油封,以查看油封是否泄漏。油封是一種經(jīng)常安裝在水環(huán)真空泵設(shè)備中的密封件,具有良好的密封效果。如何檢查真空泵油封是否泄漏?  1.真空系統(tǒng)中的水位指示器沒(méi)有破裂或泄漏。  2.關(guān)閉冷凝器蒸汽側(cè)的排水閥,以防止泄漏。  3.檢查水環(huán)真空泵是否處于負(fù)壓,低壓加熱器的水位是否正常以及排水門(mén)是否密封。  4.檢查低壓缸排氣蒸汽安全閥是否完好并且沒(méi)有進(jìn)氣。  5.檢查速度控制給水泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量小且無(wú)法密封水封袋,則應(yīng)將給水環(huán)真空泵的密封水中的重力回水倒入溝槽中。  6.檢查連接真空排氣管和氣缸的區(qū)域是否漏氣。當(dāng)負(fù)載下降時(shí),此處的空氣泄漏將減少,而負(fù)載上升后,真空將略有增加。  7.如果真空系統(tǒng)閥門(mén)的水封,管道,法蘭或焊縫不牢固,尤其是從膨脹箱或鍋爐啟動(dòng)分離器到冷凝器的管道和閥門(mén)端口。  如果您認(rèn)為水環(huán)真空泵中的油封可能存在泄漏,則用戶(hù)可以根據(jù)上述方法仔細(xì)檢查并確保檢查是否泄漏。另外,準(zhǔn)備更多的密封件,這對(duì)設(shè)備的密封效果很有幫助。
2020 - 12 - 29
離心泵產(chǎn)品常用的離心泵類(lèi)型很多:?jiǎn)渭?jí)離心泵,多級(jí)離心泵,雙吸離心泵。  在這三種類(lèi)型的產(chǎn)品中,只有單級(jí)離心泵具有一定程度的自吸。另外兩個(gè)多級(jí)離心泵和雙吸離心泵沒(méi)有自吸能力。如果液位低于泵的液位,則必須使用其他引水方法。常見(jiàn)形式是真空引水或在泵的吸入口安裝引水管。  單級(jí)離心泵不能抽水的原因  盡管單級(jí)離心泵具有一定程度的自吸能力,但仍然有必要確保在安裝進(jìn)口管時(shí)完全密封。  離心泵不抽水的原因可能是用戶(hù)未正確安裝。正確的安裝和使用方法是,離心泵的吸入管應(yīng)在池底部安裝底閥。在啟動(dòng)之前,必須將整個(gè)泵體和進(jìn)水管充滿(mǎn)水。啟動(dòng)前必須關(guān)閉出水閥,然后在打開(kāi)離心泵后慢慢打開(kāi)出水閥。每個(gè)單級(jí)離心泵根據(jù)不同的型號(hào)具有不同的自吸性能。選擇型號(hào)時(shí),必須了解每個(gè)單級(jí)離心泵。  單級(jí)離心泵不能抽水的原因還可能是自吸超過(guò)了離心泵的有效自吸高度。常規(guī)單級(jí)離心泵的自吸頭在3米以?xún)?nèi)。如果高度超過(guò)此高度,則必須采用自吸離心泵或帶真空輔助裝置的高吸力自吸泵。  使用的單級(jí)離心泵之所以不能抽水的原因,也可能是由于泵腔,葉輪,底閥,管道和其他地方的碎屑堵塞所致。  如果單級(jí)離心泵密封且有泄漏,也將導(dǎo)致離心泵無(wú)法抽水。  新安裝的離心泵不抽水的原因也可能是電動(dòng)機(jī)的方向錯(cuò)誤。如果方向錯(cuò)誤,則關(guān)閉電源后必須拔掉任意兩根電源線。
2021 - 01 - 11
真空熱處理工藝的發(fā)展,是與設(shè)備的發(fā)展分不開(kāi)的,提高設(shè)備技術(shù)水平以適應(yīng)工藝要求,往往又與配套件技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)。  在1873年發(fā)明白熾燈泡前,主要是用活塞式抽氣機(jī)獲得真空,但只能達(dá)到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術(shù)要求更高的真空度,就促進(jìn)了真空技術(shù)的發(fā)展,因而相繼出現(xiàn)了各種真空泵:旋轉(zhuǎn)水銀泵(1905年),油封旋轉(zhuǎn)泵(1907年)、分子泵(1913年)和擴(kuò)散泵(1915年)。其中擴(kuò)散泵的發(fā)明、使真空技術(shù)進(jìn)入高真空度(10-8毛左右)的階段。隨著近代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,例如加速器、熱核反應(yīng)裝置,大型真空爐等,都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此,到了60年代初期,擴(kuò)散泵的排氣速度已達(dá)到了數(shù)萬(wàn)升/秒的能力。  但是,就真空熱處理所需的真空度而言,一般達(dá)到1x10-2~1x10-4乇就足夠了,只在特殊情況下,才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空熱處理爐常用的真空泵,是由機(jī)械泵和油蒸發(fā)擴(kuò)散泵所組成。  作為一種運(yùn)行介質(zhì),泵油在真空泵中起著以下重要作用:  密封---防止大氣進(jìn)入排氣閥,有相對(duì)運(yùn)動(dòng)零件間的間隙密封(轉(zhuǎn)子與定子、旋片與轉(zhuǎn)子槽等)。  潤(rùn)滑---相對(duì)運(yùn)動(dòng)件間的潤(rùn)滑,降低磨損。  冷卻---油在泵內(nèi)與油箱間循環(huán),散熱、冷卻。  攜裹---將磨損產(chǎn)生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中,減小磨損傷害。  保護(hù)---形成保護(hù)性油膜,避免水及化學(xué)蒸汽凝結(jié)物腐蝕泵內(nèi)部件。 ...
2021 - 01 - 28
水環(huán)真空泵的一些特點(diǎn)有利于工廠的規(guī)模化生產(chǎn),在實(shí)際生產(chǎn)中的應(yīng)用極為廣泛,在采礦、石油、制藥、造紙、電力,還是在機(jī)械、氧化鋁廠等杭也領(lǐng)域,都能看到水環(huán)真空泵的存在。  水環(huán)真空泵與蒸汽凝氣器相連通。一方面,水環(huán)真空泵在運(yùn)行過(guò)程當(dāng)中,很容易因水汽分離設(shè)備存在工作漏洞,造成管道內(nèi)產(chǎn)生水汽積流;另一方面,待水環(huán)真空泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),由于水汽凝結(jié),也會(huì)形成積水。隨著積水次數(shù)增多,會(huì)造成水倒流回真空泵內(nèi),短時(shí)間內(nèi)形成較大電壓,容易燒毀電機(jī)。  為了避免出現(xiàn)這種危害,應(yīng)該定時(shí)對(duì)水環(huán)真空泵的使用情況進(jìn)行檢查,重點(diǎn)檢查進(jìn)出氣管道中是否存在積水,如果發(fā)現(xiàn),要及時(shí)清理。  為了防患于未然,還要改造水環(huán)真空泵的水氣分離器,可以采用具有更高耐磨性和耐腐蝕性的鋼材,或者加粗水氣分離器管筒的直徑,使水氣分離能夠在足夠的空間內(nèi)進(jìn)行,從而使水蒸氣積流大大減少,避免積水故障。
2021 - 03 - 10
由于真空泵在使用過(guò)程中直接與介質(zhì)接觸,因此水環(huán)真空泵設(shè)備中的泵體,葉輪以及前后分配器必須與腐蝕性物質(zhì)接觸,此外,水環(huán)真空泵本身還具有腐蝕性在某些特性上,很容易引起設(shè)備的嚴(yán)重腐蝕,尤其是泵體,葉輪以及前后分配器的表面在大面積上更容易發(fā)生氣蝕。在真空泵具有大的汽蝕面積之后,許多公司試圖通過(guò)旋轉(zhuǎn)分配器的密封端面來(lái)調(diào)節(jié)軸向間隙,但這不能從根本上解決問(wèn)題,更不用說(shuō)通過(guò)旋轉(zhuǎn)經(jīng)銷(xiāo)商的密封端面了。無(wú)限期,因?yàn)檫@將影響其他大小的機(jī)械配合。建議使用聚合物復(fù)合材料從根本上解決真空泵的防腐問(wèn)題。使用高分子化合物作為防腐層和機(jī)械修復(fù)層,并進(jìn)行相應(yīng)的機(jī)械加工,以將相應(yīng)的間隙調(diào)整到合適的范圍。聚合物復(fù)合材料具有良好的耐腐蝕性,并且一旦完全固化,便具有出色的耐腐蝕性。該聚合物復(fù)合材料具有優(yōu)異的粘合性,優(yōu)異的耐腐蝕性,耐氣蝕性和耐磨性。該過(guò)程簡(jiǎn)單,效果明顯。安全環(huán)保,無(wú)毒無(wú)害,可回收利用等獨(dú)特性能。聚合物復(fù)合材料泵的防腐蝕保護(hù)具有優(yōu)異的抗磨損,抗腐蝕,抗磨損和附著力性能,可以充分滿(mǎn)足使用要求,確保使用壽命,并為企業(yè)降低成本。
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主辦&深圳恒才機(jī)電協(xié)辦的橡塑業(yè)節(jié)能環(huán)保技術(shù)交流會(huì)在廣州琶洲白云會(huì)議室舉行,參加此次橡塑業(yè)節(jié)能環(huán)保論壇的有來(lái)自全國(guó)各個(gè)地區(qū)的人民;多家企業(yè)負(fù)責(zé)人、投資人和橡塑界精英,本次論壇還盛情邀請(qǐng)了高分子協(xié)會(huì)黨委副書(shū)記兼紀(jì)委書(shū)記王文廣先生等嘉賓隆重出席。 論壇正式啟動(dòng)后,由SPECK車(chē)經(jīng)理首先進(jìn)行演講“擠出成型應(yīng)用與SPECK次世代真空節(jié)能單元、材擠壓成型的真空領(lǐng)域和終端用戶(hù)的新材發(fā)展(以前,現(xiàn)在及未來(lái))。期間介紹新款變頻液環(huán)真空泵,與工業(yè)4.0的核心理念正完全契合,它實(shí)時(shí)監(jiān)控并計(jì)算來(lái)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線/產(chǎn)品/制程的升級(jí)優(yōu)化,在制造領(lǐng)域形成資源、信息、物品和人的相互關(guān)聯(lián)的“信息物理系統(tǒng)”,推進(jìn)制造業(yè)向智能化轉(zhuǎn)型。車(chē)經(jīng)理說(shuō),根本性的改變已經(jīng)開(kāi)始,節(jié)能是要求,但我們要的不僅僅是節(jié)能,不是簡(jiǎn)單的設(shè)備工程解決方案,而是向靈活、受控分散和緊湊的分離單元能源密集型解決方案。隨著車(chē)經(jīng)理的演講讓現(xiàn)場(chǎng)的來(lái)賓對(duì)節(jié)能環(huán)保產(chǎn)品產(chǎn)生了高濃的興趣。 接下來(lái),由深圳恒才陳總為大家?guī)?lái)精彩的分享,陳總分別對(duì)橡塑行業(yè)的塑料、樹(shù)脂、熱固性塑料、熱塑性塑料等進(jìn)行專(zhuān)業(yè)解說(shuō),之前有些行業(yè)中使用的機(jī)械造成二次污染難以解決,機(jī)械泵效率低能耗高,故障率頻繁等問(wèn)題,陳總為大家將這些專(zhuān)業(yè)的問(wèn)題做了完美的解答,并展示進(jìn)行改造后的成功案例。陳總說(shuō),我們致力于可持續(xù)生產(chǎn)力,節(jié)能、環(huán)保、高效,我們堅(jiān)持對(duì)客...
2018 - 04 - 11
真空泵泵油是真空泵配件,在選擇真空泵油的時(shí)候要注意哪些事項(xiàng),有哪些要求呢,我們劉工做了如下幾點(diǎn)總結(jié)。   1、泵油的密封性真空泵泵油需求具有適合的粘度,在低溫下能使真空泵疾速啟動(dòng),在高溫下泵油能具有良好的密封性,在泵內(nèi)泵油具有較低的溫升。不含有輕質(zhì)的易揮發(fā)組分,降低運(yùn)用過(guò)程中真空泵的返油率。   2、泵油的飽和蒸汽壓飽和蒸汽壓是泵油較關(guān)鍵的指標(biāo)之一。在恒溫的密閉容器中,當(dāng)汽液兩相到達(dá)動(dòng)態(tài)均衡時(shí)的壓力稱(chēng)謂飽和蒸汽壓。泵油品的飽和蒸汽壓要盡量低,在泵的最高工作溫度下,仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓,并要低于真空泵規(guī)則的極限壓強(qiáng)。在60℃溫度條件下至少要到達(dá)6.5×10-5 kPa(因溫升每上升20℃,飽和蒸汽壓大約要下跌一個(gè)數(shù)量級(jí))。 3、極限全壓力和極限分壓力極限全壓力:由皮拉尼計(jì)或熱偶真空計(jì)測(cè)出真空泵一切物質(zhì)(氣體)產(chǎn)生壓強(qiáng)的總和。國(guó)外目前注重全壓強(qiáng)的測(cè)試指標(biāo)。 極限分壓力:用水銀緊縮式真空計(jì)(麥?zhǔn)嫌?jì))測(cè)得的泵的極限空氣分壓力,雙級(jí)旋片泵分壓力應(yīng)為≤6×10-5kPa.極限全壓力與極限分壓力差值請(qǐng)求不大于一個(gè)數(shù)量級(jí)。二者之間的差值越大,泵油中含有的揮發(fā)成分就越多,油品的性質(zhì)就越差。   4、真空泵泵油的光滑性表現(xiàn)佳的泵油有利于抑止腐蝕磨損;能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損;摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等,都與...
2018 - 06 - 21
由于羅茨真空泵是一種技術(shù)含量比較高設(shè)計(jì)比較精巧的設(shè)備,因此它具有非常多的優(yōu)點(diǎn),但是想要讓這些優(yōu)點(diǎn)真正的發(fā)揮出來(lái)就需要學(xué)會(huì)正確的使用它。因此相關(guān)的工作人員在正式投入操作羅茨真空泵之前應(yīng)該要接受一定的培訓(xùn)懂得操作的技巧和方法,這樣才能夠使得設(shè)備更好的運(yùn)轉(zhuǎn),具體來(lái)說(shuō),羅茨真空泵得正確的使用方法包括以下幾個(gè)方面。一、經(jīng)常調(diào)整羅茨真空泵葉輪轉(zhuǎn)子間隙在操作羅茨真空泵到時(shí)候,必須在相應(yīng)的位置留一條連續(xù)的接觸線,通過(guò)這種方式來(lái)阻止氣體流回到真空當(dāng)中,并且在運(yùn)行時(shí)還應(yīng)該要經(jīng)常性的檢查兩轉(zhuǎn)子的嚙合情況。并且使用了一段時(shí)間之后,里面比較關(guān)鍵的元器件可能會(huì)因此而磨損,所以羅茨真空泵廠家提醒需要及時(shí)的進(jìn)行檢查和修理。如果葉輪轉(zhuǎn)子間隙比較小的情況下,如果任其發(fā)展的話(huà)那么很可能會(huì)使電機(jī)過(guò)度發(fā)熱而導(dǎo)致?lián)p傷,因此需要進(jìn)行一定的調(diào)整,特別是平時(shí)要經(jīng)常的對(duì)相應(yīng)的位置進(jìn)行清理。二、經(jīng)常檢查羅茨真空泵泵軸的密封狀態(tài)由于羅茨真空泵隨時(shí)要保證里面是處在真空的狀態(tài),所以密封效果一定要做到位,因此隨時(shí)要檢查密封配件的效果,避免漏氣的情況發(fā)生。專(zhuān)業(yè)提供羅茨真空泵廠家介紹一般來(lái)說(shuō),要選用質(zhì)量好一些的蜜蜂園事件,比如機(jī)械密封等等,最近新研發(fā)出來(lái)的瓷粉密封效果也不錯(cuò),值得一試。三、合理選用羅茨真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)羅茨真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)應(yīng)該要根據(jù)實(shí)際的情況進(jìn)行調(diào)整,理論上來(lái)說(shuō),增加圈數(shù)就會(huì)使排泄量也增加,并且是容積率上升但同時(shí)可能會(huì)因此而增加噪音。所以高...
2018 - 08 - 29
一、真空泵使用中要注意人身安全    在現(xiàn)場(chǎng)安裝真空泵是,除了操作真空泵時(shí)要注意安全,還應(yīng)當(dāng)采取一些普遍的預(yù)防措施來(lái)確保自己在工作環(huán)境的健康和人身安全問(wèn)題。無(wú)論機(jī)器在不在運(yùn)行,都務(wù)必穿戴合適的服裝。對(duì)電動(dòng)泵進(jìn)行維修時(shí),也要確保穿戴上絕緣手套和保護(hù)頭盔。如果你工作或者百分的泵站和污水處理有關(guān),確保用防水膠布包扎你的傷口,再小也要包扎,否則由直接同污水接觸引起、通過(guò)傷口或者眼睛、口腔膜感染,可能感染嚴(yán)重病毒,如果在現(xiàn)場(chǎng)受傷,應(yīng)當(dāng)立即用防水、殺菌、棉質(zhì)的繃帶包扎,下面請(qǐng)看幾點(diǎn)重點(diǎn)注意事項(xiàng):1. 實(shí)驗(yàn)操作人員進(jìn)行操作過(guò)程中,切勿攜帶電子產(chǎn)品。2. 實(shí)驗(yàn)操作人員需佩戴真空設(shè)備專(zhuān)用操作手套進(jìn)行操作,不能直接觸碰真空設(shè)備。3. 真空泵設(shè)備配件應(yīng)在干燥箱內(nèi)保存,并遠(yuǎn)離具有腐蝕性的化學(xué)氣體或液體。4. 真空泵設(shè)備需定期進(jìn)行擦拭,應(yīng)選用無(wú)塵紙或無(wú)塵布配套酒精或丙酮進(jìn)行清潔。5. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持一定干燥度,實(shí)驗(yàn)操作人員應(yīng)每日檢查實(shí)驗(yàn)室的濕度及溫度情況。6. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持良好通風(fēng),以避免機(jī)械真空泵油氣所造成的影響。7. 操作人員應(yīng)關(guān)注真空設(shè)備所使用泵的溫度,以免過(guò)熱導(dǎo)致儀器壽命縮短。8. 操作人員應(yīng)在分子泵轉(zhuǎn)速降至安全線以下后,放入氮?dú)饣蛞旱?. 操作人員應(yīng)密切關(guān)注高壓泵電源接口損耗程度,以防止操作人員觸電,確保安全。10. 實(shí)驗(yàn)人員進(jìn)行操作時(shí),應(yīng)嚴(yán)格按照各真空設(shè)備操作步驟進(jìn)行閥門(mén)開(kāi)關(guān)...
2018 - 11 - 03
半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕, 真空吸附,測(cè)試設(shè)備,真空清掃等等鍵合工序,半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體,會(huì)對(duì)生產(chǎn)及人員安全造成威脅,因此,半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng):  1、定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道,避免超壓:  半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。  2、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度:  半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時(shí)候,會(huì)引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí),需要用氮?dú)庵?lèi)的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍.  3、真空泵注意氧氣的濃度...
2019 - 03 - 08
真空系統(tǒng)用何種真空泵,首先應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)的要求,其次應(yīng)對(duì)該泵性能特點(diǎn)有詳細(xì)了解,比較了各種泵的優(yōu)缺點(diǎn)后,再?zèng)Q定之, 這樣才能選用得適當(dāng)。為便于選擇所要使用的真空泵,現(xiàn)將我國(guó)生產(chǎn)的各種類(lèi)型真空泵總的情況歸納總結(jié)一下,簡(jiǎn)略比較它們的特性和優(yōu)缺點(diǎn),看來(lái)是必要的。 一、油封機(jī)械泵 現(xiàn)生產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級(jí),抽速為0.5~150升/秒,有全系列的產(chǎn)品。 滑閥泵分單級(jí)(H型)、雙級(jí)(2H型)。 抽速:H型為8 ~ 600升/秒;2H型為8~ 70升/秒。亦有成系列生產(chǎn)的產(chǎn)品。 余擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產(chǎn)。 這類(lèi)泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)裝置的可抽除潮濕空i。但極限真空比抽干燥空氣(不用鎮(zhèn)時(shí))低-個(gè)數(shù)量級(jí)。泵的抽速系指進(jìn)口壓強(qiáng)在760托時(shí)之抽速,當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)下降時(shí)抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近于零。其抽降系數(shù)有一定規(guī)定。 二、機(jī)械增壓泵(羅茨泵) 工作壓強(qiáng)范圍10~5x10-4托,常用范圍2~5x10-3托,抽速范圍150~ 2000升/秒,我國(guó)已有成系列產(chǎn)品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級(jí)泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級(jí)泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強(qiáng)范圍較寬,最大排氣壓強(qiáng)較高(機(jī)械增壓泵10~30托,油增壓泵1 ~ 2托)&...
2019 - 04 - 26
1. 選真空泵要確認(rèn)環(huán)境條件  包括環(huán)境溫度、相對(duì)濕度、大氣壓力、空氣腐蝕性、危險(xiǎn)區(qū)域等級(jí)、防塵防水要求。2. 選真空泵要確認(rèn)操作條件  指液體吸入側(cè)液面壓力(絕對(duì))、排出側(cè)液面壓力、間歇或連續(xù)工作、位置固定或移動(dòng)、安裝維修方便性。3. 選真空泵要確認(rèn)介質(zhì)性質(zhì)  包括介質(zhì)名稱(chēng)、溫度、密度、粘度、飽和蒸汽壓力、固體顆粒直徑和含量、氣體的含量、腐蝕性、揮發(fā)性、燃爆性、毒性。4. 選定真空泵過(guò)流部件的材質(zhì)  根據(jù)泵送介質(zhì)的物理化學(xué)性質(zhì)主要考慮以下幾個(gè)方面:  (1) 介質(zhì)的腐蝕性,  泵過(guò)流部件的耐腐蝕性能滿(mǎn)足使用要求即可,不可追求過(guò)高的耐腐蝕性能,否則,將大幅度增加泵的購(gòu)置成本。  (2) 介質(zhì)是否含固體顆粒,  因?yàn)楣腆w顆粒的硬度和含量直接關(guān)系到泵過(guò)流部件的耐用性。  (3) 介質(zhì)的溫度(壓力),  介質(zhì)的溫度(壓力)越高,泵過(guò)流部件的材質(zhì)強(qiáng)度應(yīng)越高。一般的,溫度250℃時(shí),應(yīng)選用鑄鋼件或鋼件。  (4) 有衛(wèi)生級(jí)或禁止污染要求的介質(zhì),  選擇相應(yīng)的過(guò)流部件材質(zhì)。另外,泵的結(jié)構(gòu)應(yīng)是便于清洗的。5. 選定真空泵性能參數(shù)  (1)計(jì)算法  A. 流量:它直接關(guān)系到整個(gè)裝置的生產(chǎn)能力和輸送能力。如工藝設(shè)計(jì)中能算出泵正常、最小、最大的三種流量。選擇泵時(shí),以最大流量為依據(jù),兼顧正常流量,在沒(méi)有最大流量,通常可取正常流量的1.1倍作為最大流量。  B. 揚(yáng)程:一般要用放大5%-10%余量后的揚(yáng)程...
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水環(huán)式真空泵硬核干貨!不容錯(cuò)過(guò)!

日期: 2019-07-23
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01水環(huán)式真空泵分類(lèi)

根據(jù)結(jié)構(gòu),分為單級(jí)單作用水環(huán)泵,單級(jí)雙作用水環(huán)式真空泵,雙吸環(huán)泵和大氣水環(huán)式真空泵。

單級(jí)單作用水環(huán)泵:?jiǎn)渭?jí)意味著只有一個(gè)葉輪。單動(dòng)是指每次葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),吸氣和排氣都進(jìn)行一次。該泵的極限真空度更高,但泵送速度和效率更高。

單級(jí)雙作用水環(huán)泵:?jiǎn)渭?jí)意味著只有一個(gè)葉輪,雙作用意味著每次葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),吸氣和排氣都進(jìn)行兩次。在相同的速度條件下,雙作用水環(huán)泵的尺寸和重量比單作用水泵小得多。由于工作室對(duì)稱(chēng)地分布在泵殼的兩側(cè),因此改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。這種泵具有更高的抽速和更高的效率,但極限真空度更低。

水環(huán)真空泵

雙吸環(huán)泵:大多數(shù)是串聯(lián)連接的單作用泵。實(shí)質(zhì)上,兩個(gè)單級(jí)單作用水環(huán)泵的葉輪共用一個(gè)心軸。它的主要特點(diǎn)是它具有高真空。 ,抽速仍然很大,工作狀態(tài)穩(wěn)定。

大氣水環(huán)泵:它實(shí)際上是大氣噴射器系列水環(huán)泵的單元。水環(huán)泵前面的空氣泵用于增加極限真空并擴(kuò)大泵的適用范圍。

根據(jù)吸入和排出的方法,它分為軸向吸入和徑向吸入和排出。

軸向吸入和排出:氣體的吸入和排出通過(guò)殼體側(cè)蓋上的吸入口和排出口進(jìn)行,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)方便,缺點(diǎn)是氣體流入氣體進(jìn)入和排出葉輪的方向。葉輪葉片在彼此垂直的方向上移動(dòng),氣體不能在葉片的整個(gè)寬度上均勻地進(jìn)出葉輪,這增加了氣體進(jìn)出葉輪時(shí)的水力損失,降低了泵的效率。 。

徑向吸入和排出:氣體通過(guò)位于葉輪內(nèi)圓周(對(duì)應(yīng)于輪輞)的氣體分配器上的吸入口和排出口進(jìn)入和離開(kāi)葉輪。優(yōu)點(diǎn)是氣體可以在葉片中。葉輪進(jìn)出全寬,吸氣口和排氣口的形狀可用于使氣體以與葉輪運(yùn)動(dòng)方向基本相同的方向進(jìn)出葉輪,從而減少液壓損失并提高泵的效率。缺點(diǎn)是氣體分配器結(jié)構(gòu)復(fù)雜,加工和安裝精度高。

02水環(huán)式真空泵工作原理

水環(huán)式真空泵的工作原理。泵體內(nèi)充滿(mǎn)適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋出。由于離心力,水根據(jù)泵室的形狀形成大致相等厚度的閉合環(huán)。水環(huán)上部的內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的下部?jī)?nèi)表面剛剛與葉片的尖端接觸(實(shí)際上葉片在葉片內(nèi)部具有一定的插入深度。水環(huán))。此時(shí),在葉輪輪轂和水環(huán)之間形成新月形空間,并且該空間被葉輪分成具有相同數(shù)量葉片的多個(gè)小空腔。如果葉輪的上部為0°,則小腔的體積從旋轉(zhuǎn)前的180°變小,并且與端面上的吸入口連通。此時(shí),吸入氣體,吸入結(jié)束時(shí),腔體變小。然后將其與吸入口隔離;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔變得越來(lái)越小,從而壓縮氣體;當(dāng)小腔與排氣口連通時(shí),氣體被排除在泵外。當(dāng)葉輪每周旋轉(zhuǎn)一次時(shí),葉片之間的空間被吸起一次,并且許多空間連續(xù)操作,并且泵連續(xù)地吸入或擠壓氣體。

水環(huán)式真空泵


當(dāng)用作壓縮機(jī)時(shí),泵排氣口連接到氣水分離器。進(jìn)入氣水分離器后,蒸汽 - 水混合物自動(dòng)分離。氣體通過(guò)排氣管輸送到所需的系統(tǒng),水通過(guò)自動(dòng)溢流開(kāi)關(guān)排出。當(dāng)氣體被壓縮時(shí),工作水極易發(fā)熱,水從泵出口排出,溫度變高。因此,在氣水分離器的底部,連續(xù)供應(yīng)冷水以補(bǔ)充已經(jīng)排出的熱水,同時(shí)冷卻。其功能是使工作水溫度不會(huì)過(guò)高,從而保證壓縮機(jī)的性能,滿(mǎn)足技術(shù)規(guī)范,滿(mǎn)足工藝要求。

綜上所述,水環(huán)式真空泵依靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣,壓縮和排氣,屬于變排量真空泵。氣體抽吸和壓力輸送系統(tǒng)之間的區(qū)別僅在于氣水分離器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)不同。當(dāng)吸入氣體時(shí),吸入口壓力低于大氣壓力,排出口壓力等于大氣壓力,并且氣體水分離器僅具有溢流管。當(dāng)供應(yīng)氣體時(shí),吸入口處于常壓(也處于真空狀態(tài)),并且排出口處的壓力高于一個(gè)大氣壓。為了確保輸送氣體的壓力,氣水分離器的水位由溢流開(kāi)關(guān)控制。


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