5.真空系統(tǒng)外大氣通過器壁材料滲透到系統(tǒng)內的氣體：

氣體在固體中也會發(fā)生溶解、滲透。因此大氣通過容器壁結構材料會向真空系統(tǒng)內滲透部分氣體。這種滲透在一般的金屬系統(tǒng)下可以不考慮，但部分應用在玻璃真空系統(tǒng)或薄壁金屬系統(tǒng)會需要考慮滲透氣體帶來的影響。?

?真空系統(tǒng)在結構設計建設過程中需要注意的十個方面：??

一、結構材料選擇標準的無縫鋼管和板材，減少焊接結構，提高真空部件的氣密性。對于需要進行焊接結構的系統(tǒng)元件，應針對性的選擇焊接性能好的鋼材。

二、合理設計焊接結構，提高焊接工藝質量。焊接是真空系統(tǒng)建設過程中的一道重要工序，焊接結構要避免處于真空中的焊縫有污物積存的空隙。如果出現(xiàn)污物積存或空隙，不僅會給清洗造成困難，還會成為真空系統(tǒng)中緩慢放氣的氣源。如果焊縫出現(xiàn)死空間，就會成為難以找到漏隙所在。

三、避免出現(xiàn)隔離孔穴（氣袋），或為其開設出氣孔，便于快速抽真空。氣袋會成為緩慢放氣的源泉，增長了抽氣時間。

四、最好能對真空系統(tǒng)內的構件及內壁進行電鍍拋光、氧化處理等，減少表面放氣。不同的真空環(huán)境對內壁粗糙度的要求也不相同，原則上要求處于真空系統(tǒng)內的構件和殼體內壁表面是越光潔越好（一般高真空的內壁粗糙度Ra為6.3～3.2；中真空的內壁粗糙度Ra為12.5左右；超高真空的內壁要求拋光，達到非常光潔的表面。另外需要注意，生銹的金屬表面對抽真空十分不利。

五、法蘭連接先焊接后加工，保證尺寸、粗糙度要求以及氣密性。焊接時容易引起法蘭變形，因此目前國內都采用焊接后再對法蘭加工，這樣既可達到尺寸和粗糙度的要求，又能保證兩個法蘭連接時密封可靠。

六、高溫度下工作的真空橡膠密封圈，可采用水冷結構加以保護，防止部件部件損壞或壽命變短。

七、真空系統(tǒng)元件及真空室殼體器壁需滿足一定厚度，以滿足其有足夠的強度保證不會在內力外力作用下發(fā)生變形（滿足內外部打壓，3個大氣壓下不變形）。實際應用中，真空容器一般采用圓形結構較好；而端蓋采用凸形結構為好。

八、保證由外部進入真空室內的轉動件或移動件的動密封性能。除了選擇好的密封結構外，其中的軸或桿一定要滿足粗糙度要求，防止軸和桿上無軸向劃痕，這種劃痕會引起氣體泄漏，降低系統(tǒng)的真空度，且不易被發(fā)現(xiàn)。

九、真空系統(tǒng)上測量規(guī)管座位置的安排應遵循如下原則：a.不能將測量規(guī)管放在密封面較多的地方。因為每一個密封面都不可能保證絕對不漏氣，密封面集中之處，必然是容易漏氣的地方，測量值可能不準。b.規(guī)管內壁各處，必須保證真空衛(wèi)生，否則會造成測量不準。c.規(guī)管應盡量接在靠近被測量的地方，以減少測量誤差。

十、真空室殼體上的水套結構，要保證水流暢通無阻，更不能出現(xiàn)死水，造成局部過熱。因此進出水管位置要一下一上，且設置流水隔層，使水沿一定的路線流動。