真空鍍膜技術是真空泵應用技術的一個重要分支,它已普遍地應用于光學、電子學、能源開發,理化儀器、建筑機械、包裝、民用制品、外表科學以及科學研討等范疇中。真空鍍膜所采用的辦法主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流堆積鍍以及分子束外延等。如果真空鍍膜的目的是為了改動物質外表的物理和化學性能的話,這一技術無疑是真空外表處置技術中的重要組成局部。在元件方面,在真空中蒸發鎳鉻,能夠制造電阻,制造電容器,蒸發硒能夠得到靜電復印機用的硒鼓、蒸發鈦酸鋇能夠制造磁致伸縮的起聲元件等等。真空蒸發還能夠用于制造超導膜和慣性約束劇變反響用的微珠鍍層。此外還能夠對珠寶、鐘表外殼外表、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜,以及采用濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等制造超硬膜。近兩年內所興起的多弧離子鍍制備鈦金制品,如不銹鋼薄板、鏡面板、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄桿等目前正在盛行。

真空鍍膜設備不間斷使用十二個月以上,里面的抽速就會變慢,這就要及時的做清洗工作,那么如何對真空鍍膜設備進行全方面的維護呢?
首先充入大氣,拆去聯結水管,卸去電爐盤和噴嘴,泵腔及泵膽分三次清洗,先用汽油將清洗一遍,再用洗衣粉清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈。
等到曬干之后,重新加入泵油,裝好泵膽,并裝回機體,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。啟動維持泵,關好大門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環,無法進入工作狀態。
真空鍍膜設備每完成二百個鍍膜程序以上,應清潔工作室一次,鍍膜設備廠家表明用燒堿飽和溶液反復擦洗真空室內壁,注意安全不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷,目的是使鍍上去的膜料鋁與燒堿發生反應,反應后膜層脫落,并釋放出氫氣,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。
真空鍍膜設備里面的粗抽真空泵連續工作三十天就要換新油,真空鍍膜機泵油使用過久,可能抽入水分、雜質及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換泵油,將泵內的舊油全部排放出來。擰回放油螺栓,加入無雜質真空油至額定量。
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