高效抽氣能力:旋片真空泵通過轉(zhuǎn)子與旋片的協(xié)同運(yùn)動,周期性改變泵腔容積,實(shí)現(xiàn)氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒,單級泵極限壓力可達(dá)1帕,雙級泵更可低至6.5×10?²帕,能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴(yán)苛要求。結(jié)構(gòu)緊湊設(shè)計(jì):機(jī)組小車采用一體化撬裝結(jié)構(gòu),將泵體、電控系統(tǒng)、過濾器等部件集成于緊湊空間內(nèi),占地面積小,便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線靈活布局。其輕量化設(shè)計(jì)(如電機(jī)直聯(lián)驅(qū)動)進(jìn)一步減輕了設(shè)備重量,提升了便攜性。移動靈活便捷:小車底部配備移動輪,支持快速搬遷與多工位切換,尤其適用于需要頻繁調(diào)整設(shè)備位置的晶圓加工場景。部分機(jī)型還支持手自動模式切換,確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運(yùn)行。運(yùn)行穩(wěn)定可靠:旋片真空泵通過油膜密封與強(qiáng)制進(jìn)油潤滑設(shè)計(jì),確保運(yùn)動部件間的完美氣密性與恒定潤滑,同時減少有害空間對極限壓力的影響。其內(nèi)置的自動防返油雙重保險(xiǎn)裝置與金屬絲網(wǎng)粗過濾器,可有效防止油返入被抽系統(tǒng)與固體塵粒吸入泵腔,保障設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。維護(hù)簡便經(jīng)濟(jì):機(jī)組小車結(jié)構(gòu)簡單,維護(hù)成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油(首次工作滿150小時后換油,之后每500小時換油)與油過濾器、清潔進(jìn)氣口濾網(wǎng)等常規(guī)操作,確保設(shè)備性能。其低成本、高性能的特點(diǎn)使其成為空間有限或預(yù)算敏感場景的理想選擇。安全防護(hù)完善:設(shè)備配備雙重密閉系統(tǒng)(充氣式電磁閥+機(jī)械止回閥)與排氣過渡器,可防止氣體倒流與油霧排放,避免晶圓污染或設(shè)備損壞。同時,其內(nèi)置的吸氣閥可在停泵時自動隔離泵與被抽系統(tǒng),防止油返入被抽系統(tǒng),保障操作安全。適應(yīng)性強(qiáng):旋片真空泵機(jī)組小車可單獨(dú)使用,也可與其他高真空泵(如分子泵)組成真空機(jī)組,以應(yīng)對不同工藝對真空度的差異化需求。例如,在晶圓鍵合工藝中,可先通過旋片泵快速抽至低真空,再切換至分子泵實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境,提升工藝效率。經(jīng)濟(jì)性高:機(jī)組小車采用無油設(shè)計(jì)(...
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2025
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