往復(fù)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵使用往復(fù)式或旋轉(zhuǎn)活塞吸入、壓縮和排出氣體。它的優(yōu)點是剛投入使用的泵真空度比較高，但活塞是運動部件，所以活塞磨損是不可避免的。隨著檢查次數(shù)的增加，工作間隙會不斷縮小，直至無法滿足生產(chǎn)要求。這類泵運行噪音大、油耗高、故障率高，也是致命的不足。一般需要開一個更換，無形中增加了設(shè)備的投資和運行成本。此外，如果這種類型的泵用于泵送水蒸氣等可冷凝氣體，它會使?jié)櫥腿榛Ｒ虼耍荒苡糜诒盟筒豢赡龤怏w(空氣)，不能用于泵送顆粒。用顆粒也限制了它的應(yīng)用范圍。
水環(huán)真空泵是以安裝在泵殼內(nèi)的帶有多個葉片的偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，將水拋入泵殼內(nèi)形成與泵殼同心的水環(huán)。水環(huán)和轉(zhuǎn)子葉片形成體積的周期性變化以吸入氣體、壓縮和排出。它的優(yōu)點是可以直接在低真空下泵送蒸汽等可凝性氣體。其缺點是真空度低;不能吸出顆粒狀介質(zhì);轉(zhuǎn)子在高速旋轉(zhuǎn)時不易進行防腐處理，因此不能吸入腐蝕性介質(zhì)。