真空系統實際上是真空機組的類似術語。真空機組是由多個真空泵組成的一套閉環真空設備。它不一定有一些設備，如散熱器和冷凝器。

　　但是一般可以稱之為真空系統的是，所有種類的部件都是完整的。真空應用設備有很多種，但無論是哪種真空應用設備，都有一套抽氣系統來排出真空容器中的氣體，從而在真空容器中獲得所需的真空條件。例如，用于真空處理的容器通過管道和閥門與真空泵相連。當真空泵抽空容器時，容器必須具有真空測量裝置，該裝置構成最簡單的真空泵系統。與機組相比，真空系統中有多少臺泵?這是不確定的，讓我們先看看泵的可能名詞解釋。

　　主泵：在真空系統中，用來獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵是主泵。

　　前級泵：一種真空泵，用于保持某一真空泵的前級壓力低于其臨界前級壓力。安裝在如羅茨泵前面的旋片泵或滑閥泵是前級泵。

　　原泵：真空泵，從大氣壓力開始泵送空氣，并將系統壓力泵送到另一臺真空泵開始運行。例如，真空鍍膜機中的滑閥泵就是原油泵。

　　維護泵：在真空系統中，當空氣量很小時，前級泵不能有效使用。因此，配置一個容量較小的輔助泵來維持主泵的運行，主泵被稱為維護泵。如果擴散泵的出口裝有一個小型旋轉葉片泵，它就是維護泵。

　　事實上，簡單的真空系統只能獲得粗略的真空，而高真空泵通常串聯在真空系統中，以獲得比如羅茨泵和螺桿泵更高的真空。當高真空泵串聯時，通常在高真空泵的入口和出口分別增加閥門，這樣高真空泵可以獨立維持真空。

　　據信，如果串聯的高真空泵是油擴散泵，為了防止大量的油蒸汽回流進入被泵入容器，通常在油擴散泵的入口處增加一個——水冷擋板。根據需要，還可以在管道上增加除塵器、真空繼電器表頭、真空軟連接管道、真空泵入口排氣閥、散熱器等，形成一個比較完善的高真空系統。