無油真空泵是一種無需任何油潤滑就能工作的機械真空泵。它具有結構簡單、操作方便、維護方便、不污染環境的優點。無油真空泵耐久性好，是一種抽真空、壓縮兩用的真空泵，是獲得真空的基礎設備，應用范圍非常廣泛。
無油真空泵與普通容積泵相同，由定子、轉子、轉子、氣缸、電機等主要部件組成。帶旋轉葉片的轉子偏心安裝在固定氣缸內。當轉子高速旋轉時，轉子槽中的四個徑向滑動旋轉葉片將泵室分成四個工作室。由于離心力的作用，旋轉葉片緊緊地附著在氣缸壁上，將定子的入口和出口隔開。定子循環工作，改變體積，從排氣口排出吸入的氣體，從而達到抽氣的目的。
無油真空泵的工作原理之一是當體積大時吸入空氣，當體積小(壓力變大)時排出空氣。容積變化是通過移動機械零件來實現的，要求小間隙和高精度，如爪式真空泵。
另一種是依靠非常高的機械轉速，通過定向沖擊將空氣分子帶走，如分子泵。第三種是低溫泵，幾乎所有的空氣分子都被凍結并困在接近零度的冷表面上。
與油泵相比，無油真空泵真空度低，泵送能力小，但體積小，安裝容易，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，特別適合要求較高的實驗室使用。它也是實驗室中最常規的設備之一。
因此，在購買無油真空泵時，必須首先確定所需的真空度。如果要求高，所選真空泵應高于要求的真空度。否則不符合抽真空要求，也不符合工作要求。其次，在選擇型號時，無油真空泵的抽油率應略高于要求的抽油率，以更好地滿足需要。最后，看看無油真空泵抽取的氣體是否有腐蝕性。腐蝕性氣體會腐蝕泵。必須使用特殊材料來滿足需求。