一、干式螺桿真空泵轉子表面腐蝕原因分析
干式螺桿真空泵的進料介質含有二氧化硫和水。二氧化硫和水結合生成亞硫酸，亞硫酸對金屬有腐蝕作用。為了防止轉子和泵腔腐蝕，轉子和泵腔表面涂有特氟隆層。轉子和泵室的腐蝕表明該層已損壞，亞硫酸已腐蝕到泵室內。
二、轉子和泵室特氟隆層損傷分析
轉子和泵室表層損壞有三種可能的原因:
1，泵室內有固體顆粒進入，這會導致涂層損壞。
2，化學物質在泵室和轉子上形成膠體，膠體碳化并硬化，損壞轉子和泵室的涂層。
3，還有其他原因。
1、螺桿真空泵轉子和泵室固體顆粒損傷分析
檢查泵進口設備和管道，未發現金屬碎片、鐵屑等自由移動的固體顆粒。
2、螺桿真空泵轉子和泵腔膠體碳損傷分析
泵入口管道內壁附件照片顯示，該物質為深棕色。經過分析，物質中的鐵、碳和氧元素是聚合物質，如丁二烯和環丁砜，它們粘附在管道內壁上。如果該物質粘附在泵腔和轉子表面，很容易碳化和硬化，從而損壞轉子表面層。
3、螺桿真空泵轉子和泵室工藝因素分析
真空泵的氣相出口壓力為80千帕(A)，為負壓，而泵的液相出口為常壓。在正常情況下，泵出口處的液體不能是正常的進入地下液罐，從而形成回流，導致含有亞硫酸的液體物質在泵出口處積聚。積聚在泵出口的亞硫酸液體對真空泵形成沖擊腐蝕。應該說，泵出口處液體的回流是泵轉子和泵腔腐蝕的主要原因。