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2025 - 05 - 23
電子封裝用水環(huán)真空泵機(jī)組具有以下優(yōu)勢(shì)：結(jié)構(gòu)簡單，制造與維護(hù)便利：水環(huán)真空泵機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊，制造精度要求不高，容易加工，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無需減速裝置，占地面積小，操作簡單且維修方便。這種設(shè)計(jì)不僅降低了設(shè)備成本，還減少了維護(hù)時(shí)間和成本。工作平穩(wěn)，運(yùn)行可靠：水環(huán)真空泵機(jī)組的轉(zhuǎn)子和外殼之間通過水環(huán)形成密封，減少了轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)的噪音，運(yùn)行平穩(wěn)且穩(wěn)定性強(qiáng)。這種平穩(wěn)的運(yùn)行狀態(tài)延長了設(shè)備的使用壽命，降低了故障率，確保了電子封裝過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性。適應(yīng)惡劣工況：水環(huán)真空泵機(jī)組能夠在高溫、低溫以及惡劣環(huán)境條件下穩(wěn)定運(yùn)行，對(duì)氣體的壓縮接近等溫壓縮，壓縮時(shí)溫度變化小，泵內(nèi)沒有相互摩擦的金屬接觸面，不易發(fā)生燃燒爆炸事故。這種特性使得水環(huán)真空泵機(jī)組特別適用于處理含有微小顆粒或水分的氣體，以及易燃、易爆等危險(xiǎn)氣體。密封性能好：水環(huán)真空泵機(jī)組采用水作為密封介質(zhì)，具有良好的密封性能，可有效防止氣體泄漏。在電子封裝過程中，這有助于保持封裝腔室內(nèi)的真空度，提高封裝質(zhì)量。安全性高：水環(huán)真空泵機(jī)組無需對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封由水封完成，減少了因潤滑油泄漏而引發(fā)的安全隱患。同時(shí)，其穩(wěn)定的運(yùn)行狀態(tài)和較低的故障率也進(jìn)一步提高了設(shè)備的安全性。
2019 - 10 - 29
1.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。例如，如果真空干燥過程要求工作真空度為10 mmHg，真空泵廠家所選真空泵的真空度應(yīng)至少為2 mmHg，最好為1 mmHg。通常將泵的極限真空度選擇為比真空設(shè)備的真空度高一半數(shù)量級(jí)。　　2.正確選擇真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍，例如：2BV系列水環(huán)真空泵的工作壓力范圍為760mmHg?25mmHg(絕對(duì)壓力)，在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓力而變化(詳細(xì)變化)泵性能曲線) ，其穩(wěn)定的工作壓力范圍為760?60mmHg。因此，泵的工作點(diǎn)應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇，并且不應(yīng)在25?30mmHg的條件下長時(shí)間工作。　　3.在工作壓力下，真空泵應(yīng)能夠清除真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。　　4.正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能，因此有時(shí)一個(gè)泵無法滿足泵送要求，因此需要組合多個(gè)泵以相互補(bǔ)充才能滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對(duì)氫的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三極濺射離子泵(或兩極非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)于氬氣則具有一定的抽吸速度。當(dāng)結(jié)合使用時(shí)，真空裝置將具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，因此需要前級(jí)泵，因此必須將這些泵組合在一起。　　5.真空設(shè)備對(duì)油的污染要求。如果嚴(yán)格要求設(shè)備無油，則應(yīng)選擇各種無油泵，例如：水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。...
2019 - 11 - 05
今天給大家介紹一下水環(huán)真空泵的一些知識(shí),包括管道布置注意事項(xiàng)及加適量水的原因.有興趣的可以閱讀一下.       一，水環(huán)真空泵加適量水　　水環(huán)真空泵中裝入水作為工作流體的適當(dāng)?shù)牧俊．?dāng)葉輪順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水由葉輪周圍拋出，離心力，一個(gè)閉合的環(huán)形形狀，通過泵室的厚度確定的水形成近似于等。水環(huán)的內(nèi)表面的下部與輪轂，剛好接觸表面(實(shí)際上，葉片進(jìn)入水中環(huán)的插入一定深度)和水的上部的葉片尖端正好相切環(huán)。此時(shí)，葉輪輪轂，以形成環(huán)和水之間的月牙形空間，并且這個(gè)空間被劃分成相等數(shù)目的葉輪葉片和若干小室中。　　如果葉輪0°為起點(diǎn)的下部，則水環(huán)真空泵葉輪的體積被旋轉(zhuǎn)在從小到大的小室的前面180°，并且與進(jìn)氣口的端面連通，氣在此時(shí)被吸入，當(dāng)來自小腔和進(jìn)氣口分離吸入的端部;當(dāng)葉輪繼續(xù)從大至小的旋轉(zhuǎn)，小室中，水環(huán)真空泵，使得氣體被壓縮;當(dāng)小室與排氣口連通，該氣體被排出泵外。　　第二，水環(huán)真空泵管結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)考慮　　1，最大水環(huán)真空泵和壓力管件可承受放電應(yīng)予以考慮。　　2，水環(huán)真空泵的管道應(yīng)該被布置為直管，以最小化管道配件和最小化管道的長度，則必須將導(dǎo)通時(shí)彎曲的彎曲半徑應(yīng)管的三到五倍的直徑，以使角度可能大于90℃。　　3，合理選擇水環(huán)式管的直徑，大直徑管，在相同的流速，流速小，阻力損失小，但價(jià)格高，體積小口徑管道，導(dǎo)致電阻損失急劇增加，所以所選泵的揚(yáng)程增...
2019 - 11 - 07
水環(huán)真空泵抽真空的原理　　水環(huán)真空泵是以泵轉(zhuǎn)動(dòng)部分的機(jī)械作用排除泵體內(nèi)氣體，其工作原理為：偏心輪安裝在充有適量工作水的橢圓形泵體內(nèi)，帶有若干前彎葉片的轉(zhuǎn)子在泵體內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，形成水環(huán)并在葉輪輪轂與水環(huán)間形成一個(gè)新月形空腔，轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)動(dòng)1周，轉(zhuǎn)子上2個(gè)相鄰葉片與水環(huán)間所形成的空腔，由小到大、再由大到小作周期性變化。當(dāng)空腔由小變大時(shí)，產(chǎn)生真空，經(jīng)進(jìn)氣口吸入氣體;由大到小時(shí)，產(chǎn)生壓力，氣體被壓縮并經(jīng)排氣口排出。由于每個(gè)相鄰葉片與水環(huán)所構(gòu)成的空腔均處于不同的容積變化過程，所以當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，泵的吸排氣均為連續(xù)、不間斷過程。　　水環(huán)真空泵選型　　1、應(yīng)盡量選擇轉(zhuǎn)速較低的規(guī)格　　我國水環(huán)真空泵的使用最可能是2BE 系列，屬軸向吸排氣單作用泵，關(guān)于同一個(gè)規(guī)格都有多種轉(zhuǎn)速供抉擇，當(dāng)進(jìn)口壓力在200 hPa～600 hPa，排氣壓力為800 hPa～1013 hPa 時(shí)，葉輪葉片外圓的線速度應(yīng)為14～17 m/s ，較大規(guī)格的泵因?yàn)槿~輪直徑大是以轉(zhuǎn)速較低，所以在達(dá)到同樣抽氣量的前提下，應(yīng)盡量選擇轉(zhuǎn)速較低的泵，大泵消耗的比功率較小，即效率較高。　　2、應(yīng)考慮水溫的影響　　因?yàn)楹?nèi)外水環(huán)真空泵的手藝文件上的功能曲線及技術(shù)數(shù)據(jù)均是在進(jìn)水溫度為15 ℃的前提下得出的，前面也已經(jīng)介紹了水溫低于或高于15 ℃時(shí)水溫對(duì)氣量的影響系數(shù)計(jì)算公式。　　3、吸氣阻力的影響　　由于煤氣的吸風(fēng)口經(jīng)常在井下且遠(yuǎn)離水環(huán)真空泵(一些煤礦達(dá)...
2019 - 11 - 08
旋片真空泵/壓縮機(jī)用于混合罐的“充氣墊”中，以產(chǎn)生高于流漿箱(或“原料罐”)原料水平的壓力/真空，從而最大程度地控制物料排量(“噴霧”速度)。泵通常通過一系列閥，充當(dāng)真空泵和壓縮機(jī)，在“進(jìn)料池”上方的空隙中產(chǎn)生真空或壓力，以控制流漿箱的靜壓頭接下來，分析渣漿罐的作用以及在渣漿罐中使用旋片真空泵時(shí)需要注意的問題。　　調(diào)漿箱的定義和作用是什么?　　定義：混合箱是一個(gè)敞開的方形箱，放置在儲(chǔ)罐和除砂器之間，以調(diào)節(jié)送至造紙機(jī)的紙漿量。　　流漿箱旋片真空泵的作用　　1、調(diào)整發(fā)送到造紙機(jī)的紙漿量，以使定量穩(wěn)定。　　2、調(diào)整紙漿濃度。根據(jù)要添加白水稀釋液的紙張，很適合除砂和篩分，并且將紙張均勻混合以制成均勻的紙張。　　深圳旋片真空泵的特點(diǎn)　　旋片真空泵具有體積小，重量輕，噪音低，啟動(dòng)方便的優(yōu)點(diǎn)。此外，還有防止回油的措施和防止溢油污染現(xiàn)場的措施。　　1、旋片真空泵是獲得真空的基本設(shè)備。它可以單獨(dú)使用，也可以用作各種高真空系統(tǒng)的前置泵和前置泵。它是羅旋片真空裝置。　　2、旋片式真空泵的入口持續(xù)向大氣開放，不超過3分鐘。　　3、該泵不適用于去除含有對(duì)金屬有腐蝕性且對(duì)泵油具有化學(xué)反應(yīng)性的粉塵的氣體。氣體中氧氣過多，易爆炸。　　4、旋片真空泵可用作壓縮泵或輸送泵。　　將稀釋方法與白水和泵結(jié)合使用時(shí)，應(yīng)注意什么?　　1從混合罐到渣漿泵的管道不應(yīng)水平安裝，并應(yīng)有一定的傾斜度以防止纖維沉淀。　　2混合箱的泥漿閥的...
2019 - 11 - 12
在冷凝式發(fā)電廠中，大多數(shù)將使用旋片真空泵作為冷凝器抽水設(shè)備。今天，我們將介紹旋片真空泵在冷凝式發(fā)電廠中的應(yīng)用。為什么夏天可以大大改善冷凝水?隨著小編的加入，機(jī)組的真空度和經(jīng)濟(jì)性將得到改善。　　旋片真空泵的結(jié)構(gòu)是什么?　　旋片真空泵主要由泵體，轉(zhuǎn)子，旋片，端蓋，彈簧等組成。轉(zhuǎn)子偏心地安裝在旋片泵的腔體中，轉(zhuǎn)子的外圓周與泵室的內(nèi)表面相切(兩者之間有很小的間隙)，并且兩個(gè)轉(zhuǎn)子葉片安裝在轉(zhuǎn)子中插槽。旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片的頂端通過離心力和彈簧的拉力保持與泵室的內(nèi)壁接觸，轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵的內(nèi)壁滑動(dòng)。泵室。旋片式真空泵是真空技術(shù)中最基本的真空采集設(shè)備之一。旋片泵主要是中小型泵。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂兩級(jí)是指串聯(lián)連接兩個(gè)單級(jí)泵。通常，將其分為兩個(gè)階段以獲得更高的真空度。旋片真空泵可以去除密封容器中的干燥氣體，如果安裝了氣鎮(zhèn)裝置，則可以去除一定量的可冷凝氣體。但是，它不適用于去除氧氣含量過高，對(duì)金屬有腐蝕性，對(duì)泵油具有化學(xué)反應(yīng)性并且含有粉塵的氣體。　　真空真空泵是兩級(jí)直接耦合結(jié)構(gòu)。其工作性能包括兩個(gè)部分：高壓階段和低壓階段。其吸氣口與真空設(shè)備相連。在操作過程中，容器中的氣體將被大量吸入和排放。抽真空時(shí)，關(guān)閉高壓排氣閥，將在高壓段吸入的氣體轉(zhuǎn)移到第二段并通過第二段吸排，使真空設(shè)備獲得一定的真空度。泵的技術(shù)參數(shù)為6 × 10-2，泵與電機(jī)連接在軸上，轉(zhuǎn)速高，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，流動(dòng)性方...
2019 - 11 - 14
水環(huán)真空泵運(yùn)行時(shí)，必須使用濾芯濾芯。它可以用來過濾一些雜質(zhì)等，并阻塞設(shè)備內(nèi)部的雜質(zhì)。設(shè)備損壞。市場上廣泛使用三種濾芯元件，但是無論使用哪種濾芯，使用時(shí)都需要清潔。這是小型來看看水環(huán)真空泵濾芯的分類及其清潔方法。　　一、水環(huán)真空泵濾芯分類　　1、進(jìn)氣濾芯　　它主要用于防止固體顆粒或細(xì)灰進(jìn)入真空泵內(nèi)部，同時(shí)避免機(jī)器磨損并確保設(shè)備在運(yùn)行期間處于相對(duì)穩(wěn)定的狀態(tài)。可以同時(shí)保護(hù)設(shè)備內(nèi)部的組件。用于定義的使用壽命。　　2、油濾芯　　該裝置主要用于潤滑油的過濾。它也被廣泛使用。它通常安裝在油路上，這對(duì)設(shè)備的運(yùn)行也至關(guān)重要。　　3、排氣濾芯　　它的功能比較廣泛，使用時(shí)可用于排氣阻力，也可用于水環(huán)真空泵的油分離，使設(shè)備處于相對(duì)穩(wěn)定的狀態(tài)。　　二、水環(huán)真空泵濾芯清潔方法　　1、首先，需要在清潔之前設(shè)置濾芯的壓差并記錄下來。　　2、用苛性鈉清洗。將濾芯放入清潔車中。需要將清潔試件懸掛在腐蝕試件上以檢測過濾液的腐蝕。如果腐蝕嚴(yán)重，需要及時(shí)進(jìn)行調(diào)整。否則，濾芯可能會(huì)損壞。在清潔過程中，有必要清潔濾芯上多余的油污和積炭，并將溫度升至90至105°C，這也可以起到消毒作用24-48小時(shí)。　　3、堿洗后，將濾芯放入CCL清洗車中，清潔濾芯上的瀝青質(zhì)和焦炭粉，然后在室溫下洗滌20小時(shí)和24小時(shí)。確保將清洗液清洗到濾芯的每個(gè)位置。　　4、清潔后檢查。必須使用30倍放大鏡槍檢查每個(gè)濾芯的內(nèi)部和外部以及表面清潔度...
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2019 - 03 - 18
真空技術(shù)對(duì)我們的普通生活究竟有多大影響？開始今天的課堂前讓小編帶您快速回顧下真空技術(shù)的發(fā)展史1643年，意大利物理學(xué)家托里拆利發(fā)現(xiàn)，真空和自然空間有大氣和大氣壓力存在。1650年，德國的奧托·馮·格里克制成活塞真空泵。1850年和1865年，先后發(fā)明了汞柱真空泵和汞滴真空泵。20世紀(jì)初，真空電子管出現(xiàn)，促使真空技術(shù)向高真空發(fā)展。1940年以后，真空應(yīng)用擴(kuò)大到核研究、真空冶金鍍膜和冷凍干燥等方面，真空技術(shù)開始成為一個(gè)獨(dú)立的學(xué)科。真空技術(shù)距離我們的現(xiàn)代生活有多遠(yuǎn)？今天小編就帶您三分鐘走進(jìn)我們生活中真空技術(shù)。 07:00早晨，相信大部分人醒來做的第一件事就是摸手機(jī)（有木有被小編說中）。手機(jī)中存有上千個(gè)半導(dǎo)體元件，這些半導(dǎo)體元器件的制造都離不開真空泵的技術(shù)。 07:30準(zhǔn)備早飯。電水壺，烤面包機(jī)，微波爐，這些小家電的背后都有真空技術(shù)的默默貢獻(xiàn)。 08:00帶上智能手表穿戴設(shè)備，揣上車鑰匙出門。穿戴設(shè)備內(nèi)含大量半導(dǎo)體元器件。不夸張的說，沒有真空的世界，電子產(chǎn)品就不不存在。 08:10開車前往公司。汽車中儀表盤，擋風(fēng)玻璃，LED 車燈，甚至汽車尾氣處理，都有真空技術(shù)的影子。 09:00到達(dá)公司辦公室，辦公室內(nèi)幾乎所有的交易都是依賴電子設(shè)備，亦離不開真空技術(shù)的貢獻(xiàn)。 例如PC，電話，投影儀，移動(dòng)儲(chǔ)存設(shè)備，空調(diào)設(shè)備。 ...
2018 - 03 - 14
高溫油泵是有泵體、泵蓋、內(nèi)外轉(zhuǎn)子、泵軸、軸端組合密封等零部件組成。主傳動(dòng)為一套相互嚙合的轉(zhuǎn)子組成，軸端密封采用耐高溫回流式組合密封、采用水箱式冷卻方式控制軸封出溫度。很多客戶問到高溫油泵應(yīng)該如何選型，下面小編列了幾點(diǎn)高溫泵選型的參數(shù)和注意事項(xiàng)。                                                                    1、流量是選油泵的重要性能數(shù)據(jù)之一，它直接關(guān)系到整個(gè)裝置的的生產(chǎn)能力和輸送能力。如設(shè)計(jì)院工藝設(shè)計(jì)中能算出泵正常、最小、最大三種流量。選擇泵時(shí)，以最大流量為依據(jù)，兼顧正常流量，在沒有最大流量時(shí)，通常可取正常流量的1.1倍作為最大流量。    2、油泵的溫度，要選擇操作流體的最大要求的溫度，比方流體最大的溫度要求是350，但泵的實(shí)際最大操作溫度卻是320，那便會(huì)造成漏油或者泵直接壞掉不能運(yùn)行，所以一定要選擇合適的或者大于最大的操作流體溫度的泵。　　3...
2018 - 06 - 15
如今的各領(lǐng)域的生產(chǎn)活動(dòng)中各類真空泵是維持生產(chǎn)正常進(jìn)行的關(guān)鍵設(shè)備，在這種設(shè)備中旋片式真空泵一直都是經(jīng)典好用的代表之一。尤其是性能優(yōu)高質(zhì)量的旋片式真空泵可以長期保持穩(wěn)定可靠的狀態(tài)。所以這些領(lǐng)域的工作者就很熱衷詢問旋片式真空泵哪個(gè)品牌好。下面本文分享的就是挑選旋片式真空泵的幾個(gè)技巧。　　　　一、調(diào)查研究旋片真空泵品牌商的實(shí)力背景　　在采購之前最好是調(diào)查一下該旋片式真空泵品牌商的實(shí)力背景，包括它的發(fā)展歷史人員構(gòu)成以及日常管理模式都可以反映出它的設(shè)備的可靠性。而且可以說這種機(jī)械設(shè)備的關(guān)鍵性裝置是需要強(qiáng)大的資金和技術(shù)實(shí)力來提供支持的。　　二、實(shí)地考察旋片真空泵設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)　　如果有機(jī)會(huì)，可以去旋片式真空泵的生產(chǎn)場地直觀體驗(yàn)一下，去體驗(yàn)它的生產(chǎn)工藝，它的質(zhì)檢管理等等。當(dāng)然重中之重的工作一定是考察評(píng)估旋片式真空泵在真實(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)中的狀態(tài)表現(xiàn)，主要看它的密封性以及在不同生產(chǎn)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)真空所花費(fèi)的時(shí)間和持久度等等。　　三、向?qū)＜仪拜呌懡绦婵毡眠x型經(jīng)驗(yàn)和指導(dǎo)　　實(shí)際上旋片式真空泵這類真空制造設(shè)備的研發(fā)發(fā)展歷史是很長的，那么身邊不乏有一些有專業(yè)知識(shí)以及相關(guān)經(jīng)歷的人存在，實(shí)際是懂得利用這些人際關(guān)系去向?qū)I(yè)人士討教經(jīng)驗(yàn)也是很好的技巧。他們可以從經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)知識(shí)的角度給我們挑選旋片式真空泵很好的指導(dǎo)。　　在大家工作中關(guān)于旋片式真空泵的挑選是有很多技巧可以參考的，包括可以調(diào)查真空泵制造商的品牌歷史以評(píng)估它的整體實(shí)...
2018 - 08 - 13
螺桿真空泵常常應(yīng)用到CNC行業(yè)中，陳工總結(jié)了七點(diǎn)螺桿真空泵在CNC應(yīng)用中的注意事項(xiàng)，下面我們一起來學(xué)習(xí)一下吧。1、 螺桿真空泵開機(jī)前必須做好進(jìn)、排氣管，罐排水裝置等徹底放光管道積水，真空罐上加液位指示管，以便于人工觀測。2、靠近螺桿真空泵管道上加上手動(dòng)排水器（帶透明管顯示是否有水）3、水環(huán)泵改螺桿泵，真空罐之后，螺桿泵不允許與水環(huán)泵并管線！！否則水環(huán)泵停機(jī)時(shí)水倒抽入管網(wǎng)后，被螺桿真空泵吸入，會(huì)導(dǎo)致螺桿真空泵報(bào)廢！！！！！4、螺桿真空泵自動(dòng)閥門時(shí)間長了往往不可靠，失靈了也沒人知道，必須加裝液位顯示管人工監(jiān)視。5、CNC加工除了液態(tài)水會(huì)導(dǎo)致油乳化、還有水汽問題也要當(dāng)心，處理方法很簡單即開機(jī)時(shí)螺桿真空泵真空度不得低于100mbar.6、  阿特拉斯螺桿真空泵一般設(shè)定卸載壓力30mbar若CNC長用氣量長時(shí)間在30mbar，會(huì)發(fā)生油乳化。7、  GHS VSD+系列螺桿真空泵排氣管上有一個(gè)排水口，接上軟管用于排掉排氣管產(chǎn)生的倒灌冷凝水。
2018 - 10 - 24
旋片式真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵，主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種，雙級(jí)就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來，一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。。旋片式真空泵工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵，旋片式真空泵可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵，它被廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等行業(yè)和科研部門。阿特拉斯雙級(jí)旋片泵：使用旋片式真空泵的十個(gè)知識(shí)點(diǎn)：1、使用旋片式真空泵前，保證泵的清潔，防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。查看油位，以停泵時(shí)注油至油標(biāo)中心為宜。過低對(duì)排氣閥不能起封油作用，影響真空度。過高，會(huì)引起通大氣啟動(dòng)時(shí)噴油。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位有所升高，屬于正常現(xiàn)象。油采用規(guī)定牌號(hào)的清潔真空泵油，從注油孔加入。加油完畢后，應(yīng)旋上螺塞。油宜經(jīng)過濾，以免雜物進(jìn)入，堵塞油孔，加油按油標(biāo)指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥，使泵的吸氣管與大氣相通，而與被抽空容器隔絕，打開排氣口。2、環(huán)境溫度過高時(shí)，油的溫度升高，粘度下降，飽和蒸汽壓會(huì)增大，會(huì)引起極限真空有所下降，特別是用熱偶計(jì)測得的全壓強(qiáng)。3、旋片真空泵不應(yīng)用來抽除含氧量過高、有爆炸性以及對(duì)金屬有腐蝕的氣體。另外，也不宜吸入能與泵油起反應(yīng)的氣體和含有大量水蒸氣的氣體等4、旋片真空泵可在通大氣或任何真空度下一次啟動(dòng)，泵口如裝接電磁閥，應(yīng)與泵同時(shí)操作。...
2019 - 03 - 01
年后來，有很多模溫機(jī)行業(yè)的客戶來尋問方案選型問題，那今天張工就跟大家分析一下模具行業(yè)模溫機(jī)的高溫離心泵選型問題。現(xiàn)在模具行業(yè)中最常見的就是德國百年老企SPECK品牌的高溫磁力泵（離心泵），德國SPECK品牌磁力泵因?yàn)楦咝Ч?jié)能且壽命長外型小，所以在市面熱銷，那么模溫機(jī)行業(yè)選型高溫磁力泵我們首先要了解些什么呢？一、高溫磁力泵對(duì)應(yīng)模具的 出入口尺寸，如幾進(jìn)幾出? 幾回路？裝置系統(tǒng)的管路布置條件指的是送液高度送液距離送液走向，吸如側(cè)最低液面，排出側(cè)最高液面等一些數(shù)據(jù)和管道規(guī)格及其長度、材料、管件規(guī)格、數(shù)量等，以便進(jìn)行系梳揚(yáng)程計(jì)算和汽蝕余量的校核。二、高溫磁力泵的操作點(diǎn)(流量 揚(yáng)程)？1.流量是選高溫油泵的重要性能數(shù)據(jù)之一，它直接關(guān)系到整個(gè)裝置的的生產(chǎn)能力和輸送能力。如設(shè)計(jì)院工藝設(shè)計(jì)中能算出泵正常、最小、最大三種流量。選擇泵時(shí)，以最大流量為依據(jù)，兼顧正常流量，在沒有最大流量時(shí)，通常可取正常流量的1.1倍作為最大流量。2.揚(yáng)程裝置系統(tǒng)所需的，是選泵的又一重要性能數(shù)據(jù)，一般要用放大5%—10%余量后揚(yáng)程來選型。三、高溫磁力泵輸送介質(zhì)？液體性質(zhì)，包括液體介質(zhì)名稱，物理性質(zhì)，化學(xué)性質(zhì)和其它性質(zhì)，物理性質(zhì)有溫度c，密度d，粘度u，介質(zhì)中固體顆粒直徑和氣體的含量等，這涉及到系統(tǒng)的揚(yáng)程，有效氣蝕余量計(jì)算和合適泵的類型：化學(xué)性質(zhì)，主要指液體介質(zhì)的化學(xué)腐蝕性和毒性，是選用導(dǎo)熱油泵材料和選用那一種軸封型式的重要...
2019 - 04 - 17
真空泵使用久，如果不注意保養(yǎng)就會(huì)出現(xiàn)走漏的情況，所以我們要常常進(jìn)行檢查，那如何來判斷真空泵是不是發(fā)生了走漏的情況呢？下面我們一起來了解一下。一、查看真空泵狀況的抽汽管道與汽缸聯(lián)接的當(dāng)?shù)啬芊衤┛諝猓颂幝┛諝庠谪?fù)荷降低時(shí)真空降低，負(fù)荷升高后真空稍有上升。 二、查看凝汽器汽側(cè)放水門封閉，不走漏。三、查看真空損壞門封閉，不走漏口。 四、查看處于負(fù)壓狀況下的低壓加熱器水位能否正常，放地溝門能否緊密。五、查看真空泵調(diào)速給水泵的重力回水能否導(dǎo)人凝汽器，若是回水量較小，水封袋封不住應(yīng)將給水泵密封水重力回水倒至地溝。 六、查看真空體系閥門的水封、管道、法蘭或焊口有否不緊密處，尤其是脹大箱或鍋爐起動(dòng)分離器至凝汽器的管道及閥門口。 七、查看真空泵低壓缸排汽安全門無缺、無吸氣。八、查看真空體系的水位計(jì)不割裂、走漏。 以上八點(diǎn)真空泵的走漏檢查。真空泵在使用了一段時(shí)間后一定要多多進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)。
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半導(dǎo)體工藝中干式真空泵的幾種選擇

日期： 2019-11-21
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　　在過去的十多年里，有好幾種不同類型的干式真空泵被設(shè)計(jì)生產(chǎn)出來，它們?cè)跈C(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上有明顯差異，因此可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型：圓裂片式、爪式、組合式(羅茨+爪)、螺桿式，其中前三種被稱為多級(jí)泵。因?yàn)樗鼈兊墓ぷ鞣绞酱笾孪嗤际抢枚嗉?jí)真空腔對(duì)氣體進(jìn)行反復(fù)的壓縮來產(chǎn)生真空。在多次反復(fù)壓縮的過程當(dāng)中，氣體的溫度和壓力也產(chǎn)生比較復(fù)雜的變化，因而比較容易引起氣體物理特性的變化。而螺桿式被稱為單級(jí)泵，因?yàn)樗豢恳粋€(gè)真空腔產(chǎn)生真空。根據(jù)其氣體壓縮方式的不同，又可將其分為內(nèi)部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵。以下就將這些不同類型的泵在物理特性上作一些探討，希望能對(duì)大家有所幫助。

半導(dǎo)體工藝中干式真空泵的幾種選擇


　　干式真空泵類型

　　雙圓裂片式

　　雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些最早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。

　　三葉圓裂片式

　　三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動(dòng)的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。

　　組合式(羅茨+爪)

　　組合式(羅茨+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠家將其最后一級(jí)改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。

　　外部壓縮型螺桿式

　　在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中，使用一對(duì)等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時(shí)使得氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得其對(duì)氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液唵危@樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?/span>

　　內(nèi)部壓縮型螺桿式

　　除了使用一對(duì)非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃健５诤芏喙に囍校@種內(nèi)部壓縮同多級(jí)泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。

　　發(fā)展趨勢(shì)和選擇

　　在以上介紹的所有類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個(gè)影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。

　　可以看到，干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來，使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性考慮進(jìn)去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其他部件的損壞。

半導(dǎo)體工藝中干式真空泵的幾種選擇


　　由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)泵如圓裂片式、爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了百分之六十。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。

　　綜合考慮，如果用戶認(rèn)為耗電量對(duì)他來說最為重要而氮?dú)庥昧繉?duì)他來說最不重要，那么內(nèi)部壓縮型螺桿式可以一個(gè)好的選擇。但普遍說來，對(duì)尾氣處理越來越嚴(yán)格的要求使得將來對(duì)減少氮?dú)獾挠昧孔兊酶匾Ｈ绻阆Ｍ脝我活愋偷谋貌唤?jīng)過改變宋處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使你的庫存控制簡單化，那么外部壓縮型螺桿式是你最好的選擇。
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