高效抽氣能力:旋片真空泵通過轉子與旋片的協同運動,周期性改變泵腔容積,實現氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒,單級泵極限壓力可達1帕,雙級泵更可低至6.5×10?²帕,能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴苛要求。結構緊湊設計:機組小車采用一體化撬裝結構,將泵體、電控系統、過濾器等部件集成于緊湊空間內,占地面積小,便于在實驗室或生產線靈活布局。其輕量化設計(如電機直聯驅動)進一步減輕了設備重量,提升了便攜性。移動靈活便捷:小車底部配備移動輪,支持快速搬遷與多工位切換,尤其適用于需要頻繁調整設備位置的晶圓加工場景。部分機型還支持手自動模式切換,確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運行。運行穩定可靠:旋片真空泵通過油膜密封與強制進油潤滑設計,確保運動部件間的完美氣密性與恒定潤滑,同時減少有害空間對極限壓力的影響。其內置的自動防返油雙重保險裝置與金屬絲網粗過濾器,可有效防止油返入被抽系統與固體塵粒吸入泵腔,保障設備長期穩定運行。維護簡便經濟:機組小車結構簡單,維護成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油(首次工作滿150小時后換油,之后每500小時換油)與油過濾器、清潔進氣口濾網等常規操作,確保設備性能。其低成本、高性能的特點使其成為空間有限或預算敏感場景的理想選擇。安全防護完善:設備配備雙重密閉系統(充氣式電磁閥+機械止回閥)與排氣過渡器,可防止氣體倒流與油霧排放,避免晶圓污染或設備損壞。同時,其內置的吸氣閥可在停泵時自動隔離泵與被抽系統,防止油返入被抽系統,保障操作安全。適應性強:旋片真空泵機組小車可單獨使用,也可與其他高真空泵(如分子泵)組成真空機組,以應對不同工藝對真空度的差異化需求。例如,在晶圓鍵合工藝中,可先通過旋片泵快速抽至低真空,再切換至分子泵實現超高真空環境,提升工藝效率。經濟性高:機組小車采用無油設計(...
發布時間:
2025
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07
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