水環式真空泵在電子晶圓真空吸附中應用廣泛，其特點與優勢如下：
工作原理
水環式真空泵葉輪偏心安裝在泵體內，啟動前向泵內注入一定高度的工作介質（常為常溫清水）。當葉輪旋轉時，水在離心力作用下在泵體壁內形成旋轉水環，葉片及兩側側板形成密閉腔。在前半轉（經過吸氣孔）旋轉過程中，密封容腔容積逐漸擴大，氣體由吸氣孔吸入；在后半轉（經過排氣孔）旋轉過程中，密封容腔容積逐漸縮小，氣體從排氣孔排出，同時排出一部分水，排出的水氣經氣液分離器分離后，水可循環使用。
優勢特點
結構與維護：結構簡單，制造精度要求不高，容易加工，維護成本低，周期長，適合長期連續運行。
工藝適配：能提供較大抽氣量，在低真空度（2000～4000Pa）下表現良好，滿足晶圓吸附大流量、低真空度需求。
氣體處理：等溫壓縮過程接近等溫，可避免氣體溫度過高，適合處理含水蒸氣等可凝性氣體，防止氣體在泵內凝結。
抗污染：對粉塵和顆粒物不敏感，水環作為密封和冷卻介質，減少磨損，延長設備壽命。
安全性：使用水作為工作介質，無油污染風險，等溫壓縮特性使其在處理易燃易爆氣體時安全性更高。
經濟性：初始投資和運行成本較低，使用壽命長，適合大規模生產環境。
適應性：可通過調節供水量、轉速等參數適應不同工藝需求，也可與其他真空設備組合使用。
應用場景
在電子半導體領域，水環式真空泵可用于燈泡排氣，電容、集成晶體管電路、LCD顯示器的生產，以及太陽能電池板的單晶硅、多晶硅生長爐，切割，真空層壓等生產環節。在電子晶圓真空吸附中，它能快速建立真空環境，穩定吸附晶圓，滿足半導體制造對潔凈度和穩定性的要求。