2021
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干式真空泵主要在半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)得到應用與發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，而歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量?！ 榱藵M足不同應用領域和不同工況的要求，國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h?！ ?、干式真空泵的介紹及原理 此為立式雙螺桿干式真空泵，它的吸氣和排氣原理和大多數是一樣的，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。 干式真空泵工作時，相互之間無摩擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結構，與等螺距結構相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產品?！ 淦穫浼菢藴实腛型圈。從上至下的輸送方式能可靠地處理夾帶液體的濕氣及粉塵，并且無需過濾器。最優(yōu)化的螺桿外形設計使功率消耗降到最低，簡單的設計可使泵腔在1小時內在現(xiàn)場全部解體，易于清洗維護?！ ?、獨特的冷卻方式 很多泵轉子卡死的原因是吸入含有粉塵及結晶的物質、高溫發(fā)生聚合的物質、熱敏性物質的升華造成轉子間的間...