2020
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真空系統是真空泵、真空計以及各種部件經由配管適當連接，以達到一定的真空度的裝置。 真空系統的基本要求是什么? 1.在被吸引設備或工作室內得到必要的極限真空和工作真空度 極限真空度是指設備沒有泄漏時到達的真空度，動作真空度是指設備進行真空處理時能夠維持的真空度。 真空處理時多釋放大量的氣體，此時的工作真空度顯著低于極限真空度。 極限真空度和工作真空度分別重要，從不同的方面影響器件的質量。 例如，在使用氧化物陰極器件的排氣真空系統中，大量排氣電10-2極脫氣和陰極分解，如果工作的真空度差，則有可能導致電極被氧化，陰極不被活性化的結果。 但是，當器件最后被密封時，幾乎沒有氣體泄漏，器件內的真空度取決于排氣真空系統的極限真空度。 2.為了得到某工作的真空度所需要的時間 這個時間由真空系統的吸引速度的大小決定。 加快速度就可以縮短這個時間。 大工作室顯然需要很大的速度。 工作室可能不大，但是泄漏氣體很嚴重，真空系統也需要很大的吸引速度。 否則，大量的泄漏氣體會大大降低真空度，系統將無法工作。 3.提取的設備和工作室內有適當的殘留氣體成分 實踐證明，單純提高極限真空度和工作真空度是不夠的，殘留氣體成分也有一定的要求。 例如，為了在一年的壽命中抑制靈敏度的降低，真空攝像裝置要求在能夠承受裝置內的殘留氣體的氧量為10-2Pa以下的高壓的真空開關管內不包含烴分子等。 真空系統的殘氣成分，...