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2020
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真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)還是比較多的。接下來，介紹我們就來介紹真空系統(tǒng)的內(nèi)容?！ ≌婵障到y(tǒng)簡(jiǎn)介 通過真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在單個(gè)生產(chǎn)機(jī)器上，更多的單個(gè)泵被幾個(gè)更大的真空泵代替。自動(dòng)變頻控制系統(tǒng)通過儲(chǔ)氣罐的主支管配置并連接到生產(chǎn)機(jī)器上。真空供應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求全自動(dòng)，節(jié)能、低成本、維護(hù)方便、性能穩(wěn)定。員工工作區(qū)域的噪音水平大大降低，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)要求?！ ≌婵毡脩?yīng)用部分 1.生產(chǎn)用真空主要是通過高真空減少工作空間的空氣，保持工作空間的清潔。所用真空泵的主要類型包括干式泵(干式螺旋真空泵、爪式泵)、分子泵及其裝置。生產(chǎn)用真空設(shè)備數(shù)量多，功率小?！ ?.清潔真空主要利用負(fù)壓和大氣壓之間的差異來清潔或輸送液體或顆粒。對(duì)于這些應(yīng)用，主要使用水環(huán)泵和多級(jí)離心風(fēng)扇。由于真空度低，通常采用多級(jí)離心風(fēng)機(jī)，真空源是其系統(tǒng)的一部分。 3.工藝真空主要采用工件搬運(yùn)負(fù)壓吸附或夾緊。螺桿泵、爪式泵、水環(huán)泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵和微油螺桿泵等干式泵都是過程真空中常見的真空設(shè)備?！ ≌婵障到y(tǒng)的組成 真空泵+控制系統(tǒng)+儲(chǔ)氣罐+管道安裝 半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用安全事項(xiàng)： 1、防止真空泵溫度過高： 真空泵溫度過高會(huì)影響真空度和排氣量，對(duì)生產(chǎn)有直接影響。在半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)?！ ?、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃...
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螺桿真空泵是一種可抽真空的設(shè)備，是替代其他同類產(chǎn)品的工業(yè)生產(chǎn)常用設(shè)備，由于其優(yōu)異的產(chǎn)品性能和優(yōu)越性，在各種環(huán)境技術(shù)中都顯示出極高的穩(wěn)定性。 螺桿真空泵在結(jié)構(gòu)上有什么特點(diǎn)? 讓我們一起調(diào)查一下?！ ÷輻U真空泵在泵室內(nèi)的一對(duì)等速逆轉(zhuǎn)螺桿的作用下，吸引并排出被吸引的氣體，使其成為高真空。 如泵的結(jié)構(gòu)如圖所示，螺桿曲線由阿基米德的螺旋曲線、擺線和圓弧等構(gòu)成。 螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，兩螺桿之間，螺桿與泵體之間保持一定的間隙，不相互接觸，因此運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵的摩擦損失小，摩擦消耗電力極小，可進(jìn)行高旋轉(zhuǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)，順暢地壓送到排氣口，排列在泵外。 泵兩側(cè)的密封機(jī)構(gòu)防止齒輪箱內(nèi)的潤滑油進(jìn)入泵的進(jìn)氣室內(nèi)進(jìn)入。 泵和馬達(dá)都是橫型結(jié)構(gòu)，泵的聯(lián)軸器和馬達(dá)直接連接，單元整體安裝在同一框架上。 為了降低泵的排氣聲，泵的排氣口裝有消音器?！ ?gòu)成螺桿真空泵的關(guān)鍵部件如下： 1 .螺桿轉(zhuǎn)子：泵螺桿轉(zhuǎn)子采用高性能球墨鑄鐵，經(jīng)過嚴(yán)格的熱處理后，由高精度數(shù)控機(jī)床加工，確保螺桿型線的高精度要求，螺桿加工精度是保證整個(gè)機(jī)械性能的關(guān)鍵?！ ? .同步齒輪：同步齒輪是螺桿真空泵的重要部件，同步齒輪不僅對(duì)從動(dòng)螺桿施加足夠的扭矩，還保證反轉(zhuǎn)的兩個(gè)螺桿的嚙合面始終保持一定的間隙，不會(huì)摩擦。 齒輪表面經(jīng)高頻淬火，采用高精度砂輪磨削研磨，泵運(yùn)行噪音小，溫度上升低，保證運(yùn)行順暢?！ ? .軸承：泵的固定端采用雙列角接觸球軸承，可動(dòng)端采用高負(fù)荷能力的滾柱軸承。 ...
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如果在真空泵后端的正壓下發(fā)生泄漏，液體會(huì)滲出并容易被發(fā)現(xiàn);但是，前端負(fù)壓下會(huì)發(fā)生泄漏，外面沒有明顯標(biāo)志，不易發(fā)現(xiàn)。從長(zhǎng)遠(yuǎn)來看，真空泵將從空氣中吸入大量空氣，導(dǎo)致油箱壓力迅速上升，導(dǎo)致油箱排氣管的排放量增加。因此，在維護(hù)期間有必要檢查真空泵是否泄漏?！ ∠旅嫘【幰哉婵毡脼槔榻B一種簡(jiǎn)單易行的方法來幫助我們判斷真空泵是否有泄漏。 主要檢查方法是：真空泵運(yùn)行時(shí)，完全堵住真空泵的入口，連接水面下的出氣口，觀察是否有氣泡。具體步驟如下： 1 .準(zhǔn)備一根長(zhǎng)約30厘米的軟管，一端有一個(gè)接頭，用于連接真空泵的出口;一個(gè)透明的空塑料瓶(礦泉水瓶就足夠了)裝滿自來水以備后用。準(zhǔn)備一個(gè)直徑大于真空泵入口直徑的橡膠墊，厚度超過2mm，橡膠墊應(yīng)盡可能堅(jiān)韌?！ ? .當(dāng)真空泵停止運(yùn)行時(shí)，斷開其入口和出口處的管接頭，并在出口處連接準(zhǔn)備好的軟管?！ ? .試著啟動(dòng)真空泵，使其處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。用橡膠墊密封真空泵入口，確保無空氣泄漏?！ ? .將軟管插入塑料瓶的水面下，觀察是否有氣泡。如果軟管插入水中時(shí)沒有氣泡出現(xiàn)，真空泵密封良好，沒有泄漏。另一方面，如果有氣泡，真空泵正在泄漏。 注意：在檢查開始時(shí)，在將出口處的軟管插入水中之前，一定要密封真空泵的入口。檢查真空泵參數(shù)后，先將軟管從水中取出，然后取下入口處的橡膠墊，否則會(huì)濺出水花!
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真空泵的高溫是什么原因，又用什么方法解決? 接下來，小編介紹一下，希望能對(duì)真空泵的使用有所幫助?！ ≌婵毡酶邷卦蚍治觯骸 ?.電機(jī)功率過大，工作電流大，熱功率也大?！ ?.風(fēng)扇葉片少，產(chǎn)生的風(fēng)量少，所以不能散熱?！ ?.由于風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)低，風(fēng)量小?！ ?.真空泵電機(jī)的母線電壓為380V，符合電纜的電壓降和分配的不均勻性，所以電機(jī)施加低于380V的電壓，為了保證電力不變，電流增大，熱電力變大?！ ?.電機(jī)上附著灰塵、油污等污垢，散熱功能下降。 真空泵廠家的真空泵降溫方法： 馬達(dá)的功率、轉(zhuǎn)速與真空泵一致，不能變更。 風(fēng)扇安裝在電動(dòng)機(jī)主軸上，根據(jù)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速?zèng)Q定風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，所以不能變更。 增加風(fēng)扇葉片的數(shù)量可以起到一定的作用，但是葉片增加的話，原來的動(dòng)平衡就會(huì)崩潰，需要尋找新的動(dòng)平衡。 找到新的動(dòng)平衡并不容易。 動(dòng)平衡不同，會(huì)引起電動(dòng)機(jī)的劇烈振動(dòng)。 因此，一般采取了以下方法： 1.將原來的風(fēng)扇蓋加長(zhǎng)40cm，設(shè)置了與風(fēng)扇通徑的軸流風(fēng)扇，軸流風(fēng)扇的電動(dòng)機(jī)功率要求為850w、轉(zhuǎn)速14889r/min、電壓380v。 原來的粉絲還在。 軸流風(fēng)扇設(shè)在別的電源控制中，真空泵啟動(dòng)后，軸流風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)，真空泵停止后，在30min停止軸流風(fēng)扇，充分冷卻主馬達(dá)?！ ?.保持馬達(dá)的清潔和清潔，定期清除馬達(dá)上的污垢，提高散熱能力?！ ?.把真空泵的母線電壓提高到400v。
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旋片真空泵的噪音，通常是指泵溫度穩(wěn)定時(shí)，在極限真空下測(cè)得的噪音水平。 包括泵本身的噪音和馬達(dá)噪音，對(duì)用戶來說，與泵溫度不穩(wěn)定時(shí)啟動(dòng)階段的噪音不同的入口壓力下運(yùn)轉(zhuǎn)的噪音，還有開氣町工作中的噪音也很關(guān)心。 因此，必須考慮各種影響因素?！ 「鶕?jù)發(fā)音部位的不同，旋片真空泵的噪音有以下可能性 (1)旋片與氣缸體的碰撞、泵剩馀容積和排氣死亡間隙中的壓力油的發(fā)音 (2)排氣閥座與支撐部件的碰撞 (3)箱體內(nèi)的回聲和氣泡破裂音 (4)軸承噪音 (5)大量氣體、油撞擊擋板等引起的噪音 (6)其他。 傳動(dòng)引起的噪音、空冷泵的風(fēng)扇噪音等。 (7)電機(jī)噪聲，這是重要的因素?！ ⌒婵毡迷O(shè)計(jì)過程的建議如下： 1 .旋片與氣缸壁的碰撞 如果設(shè)計(jì)、制造或材料不正確，刀片的滑動(dòng)會(huì)變差，或者有排氣的死區(qū)，因此無法壓縮的油無法使刀片的頭部總是緊貼氣缸壁進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，就會(huì)對(duì)刀片的氣缸壁產(chǎn)生沖擊音。 因此，最好采用用圓弧面隔開進(jìn)氣口的結(jié)構(gòu)。 用排氣槽消除死區(qū)。 采用線路分隔結(jié)構(gòu)時(shí)，請(qǐng)盡量縮短從排氣終點(diǎn)到接點(diǎn)的距離。 對(duì)于70l/s以下的回轉(zhuǎn)泵，考慮到回轉(zhuǎn)的實(shí)際厚度，建議采用7~lomm、大的泵。 最近，由于轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)子槽的存在和轉(zhuǎn)子頭部只有一根膠帶接觸，所以轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到接點(diǎn)位置時(shí)，如果密封效果差，就會(huì)影響泵的吸引速度和極限壓力。 可以看出，該結(jié)構(gòu)無法完全消除排氣的死區(qū)，噪音水平受到限制。 另外，如果旋片與槽...
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羅茨泵能特點(diǎn)羅茨泵的工作原理與凸輪泵基本相同，但轉(zhuǎn)子是羅茨型。它能輸送粘度達(dá)數(shù)萬厘泊的液體。羅茨真空泵泵體內(nèi)主要有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)方向相反的轉(zhuǎn)子，由一對(duì)同步齒輪驅(qū)動(dòng)。對(duì)于羅茨泵的轉(zhuǎn)子，它們?cè)诒皿w中相互嚙合，但是存在間隙。間隙大小主要取決于液體粘度。如果粘度超過一定范圍，必須調(diào)整以增加間隙?！ ?.羅茨泵應(yīng)定期檢查油位，如不符合規(guī)定，應(yīng)調(diào)整至符合要求。當(dāng)羅茨泵運(yùn)行時(shí)，油位達(dá)到油標(biāo)準(zhǔn)的中心。 2.羅茨泵換油周期由用戶根據(jù)實(shí)際使用情況和是否滿足性能要求來確定。一般來說，在新羅茨泵，當(dāng)清潔和干燥的氣體被抽出時(shí)，建議每工作100小時(shí)更換一次油。在油中未發(fā)現(xiàn)黑色金屬粉末后，換油期可適當(dāng)延長(zhǎng)。 3.羅茨泵應(yīng)定期檢查油的質(zhì)量，如果發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)，應(yīng)更換新油，以確保羅茨泵的正常工作 4.正常情況下，羅茨泵應(yīng)在工作2000小時(shí)后進(jìn)行大修，檢查橡膠密封的老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉積在閥板和排氣閥座上的污垢，清理整個(gè)羅茨泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子、彈簧等。一般用汽油清洗并干燥。清潔橡膠部件后，用干布擦干。清潔和組裝時(shí)小心輕放。 5.羅茨泵應(yīng)在軸承體中加入軸承潤滑油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)準(zhǔn)的中心線上，潤滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充?！ ?.羅茨泵應(yīng)檢查羅茨泵的管道和接頭是否有松動(dòng)，用手轉(zhuǎn)動(dòng)羅茨泵，看羅茨泵是否靈活?！ ?.羅茨泵重新組裝后，應(yīng)該投入試運(yùn)行。一般來說，它應(yīng)該空轉(zhuǎn)2小時(shí)并換兩次油。因?yàn)樵谇逑催^程中，...
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真空泵工作時(shí)，如果發(fā)現(xiàn)真空泵水量不足或無水，首先要考慮進(jìn)氣管是否因沙孔、裂紋或接頭處空氣不足而侵入，觀察進(jìn)氣口。有些缺陷非常細(xì)微，很難用肉眼直接發(fā)現(xiàn)。這通常既耗時(shí)又無效。然后，真空泵修理廠分析了管道泄漏的處理措施。在解釋處理方法之前，我們必須知道如何判斷泄漏?！ ∫?、真空泵廠確定管道泄漏的方法 1.檢查真空泵調(diào)速泵的重力回水能否引入冷凝器;如果回水小，水封袋不能密封，泵密封的水應(yīng)返回槽內(nèi)。 2.檢查真空損壞門是否關(guān)閉且無泄漏?！ ?.檢查連接到真空泵的吸入管和氣缸是否會(huì)泄漏;當(dāng)負(fù)荷降低時(shí)，泄漏空氣減少，而在負(fù)荷增加后，真空略有增加?！ ?.檢查冷凝器疏水閥是否關(guān)閉，不會(huì)泄漏?！ ?.檢查低壓加熱器在負(fù)壓下的水位是否正常，地漏門是否可以緊固。 6.檢查真空系統(tǒng)的水位計(jì)是否分離或泄漏?！ ?.檢查水封、管道、法蘭或真空系統(tǒng)閥門的焊接接頭是否緊固，特別是從膨脹箱或鍋爐啟動(dòng)分離器到冷凝器的管道和閥門開口。 8.檢查真空泵低壓缸排氣安全門?！ 《?、真空泵制造商維修分析管道泄漏措施 1.真空泵的安裝位置應(yīng)盡可能靠近水面，以確保水位下降時(shí)不會(huì)吸入空氣?！ ?.安裝吸水管時(shí)，進(jìn)水管應(yīng)稍微向下傾斜或沿進(jìn)水方向水平傾斜。進(jìn)水管不應(yīng)高于進(jìn)水口，否則管內(nèi)空氣不能排出?！ ?.防止填土涵洞滲漏。包裝涵的密封性應(yīng)合適。如果太松，擰緊填料壓蓋;如果包裝損壞或無效，應(yīng)及時(shí)更換;填充區(qū)域的水封管堵塞并受熱...
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