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2020 - 11 - 09
真空設備正越來越多地用于工業領域,螺桿真空泵的使用已在許多領域證明了其性能,在正常情況下會吸油。在使用中,我們將找出為什么真空泵不吸油。是什么原因造成的?怎么處理?  1.失敗原因:  1.吸管受雜物影響,導致堵塞或漏氣。  2.吸程超過允許的吸程高度。  3.螺桿真空泵的馬達反轉。  4.油的粘度太大。  2.處置方法:  1.加熱油以降低粘度。  2.修理真空泵,使螺桿真空泵的軸功率緩慢增加。  3.改變電動機的方向以保持與泵的方向相同的狀態。  4.檢查吸管是否漏氣,并更換法蘭墊片。  5.降低泵的安裝高度,并將其保持在指定的高度范圍內。  面對螺桿真空泵不吸油的問題,該怎么辦?首先,我們需要了解造成不吸收的原因,然后維修真空泵以恢復吸油功能,然后恢復正常使用。另外,應及時清除雜質,以避免堵塞。
2020 - 11 - 19
水環真空泵在使用的過程中,是通過管道對要抽取的物質進行連接的,這樣一來,水環真空泵需要配備什么樣的管道,有沒有選擇趨向,就成為了一個很重要的問題,那今天小編就來講一下管道的配置問題,一起來看看吧。  為了提高水環真空泵的吸入性能,管道泵吸入管路應盡可能縮短,盡量少拐彎(彎頭要用大曲率半徑),以減少管道阻力損失。  為防止水環真空泵產生汽蝕,泵吸入管路應盡可能避免積聚氣體的囊形部位,不能避免時,應在囊形部位設的排氣閥。當泵的吸入管為垂直方向時,吸入管上若配置異徑管,則應配置偏心異徑管,以免形成氣囊。  為了避免水環真空泵管道、閥門的重量及管道熱應力所產生的力和力矩超過泵進出口的允許外載荷,在真空泵的吸入和排出管道上須設置管架。泵管口允許max載荷應由水泵制造廠提供。垂直進口或垂直出口的泵,為了減少對泵管口的作用力,管口上方管線須設管架,其平面位置要盡量靠近管口,可以利用管廊縱梁支吊管線,所以常把泵布置在管廊下。  輸送密度小于650Kg的液體,如液化石油氣、液氨等,泵的吸入管道應有1/10到1/100的坡度坡向泵,使氣化產生的氣體返回吸入罐內,以免泵產生汽蝕。  以上就是今天關于水環真空泵的配管問題的一些說明,我們在操作的時候之所以要注意這些問題,是為了保證運作的正常和工序的合理運作。
2020 - 12 - 01
水環真空泵通常用水做工作液,也可以用乙二醇、甲苯等液體做工作液。每種液體在某一溫度下都有對應的飽和蒸汽壓。水環真空泵在工作時,吸氣腔與被抽真空系統相連通,當吸氣腔形成的真空(絕對壓力)越接近工作液的飽和蒸汽壓時,該區域的液環內表面產生氣泡的程度就會越高,甚至會達到沸騰狀態。隨著葉輪的轉動,當夾在相鄰兩個葉片之間的氣泡進入到壓縮與排出區域時,氣泡受到擠壓而破裂。液環內表面氣泡的產生、破裂現象稱為水環真空泵的汽蝕現象。  氣蝕會降低水環真空泵的抽氣能力,產生振動和噪聲以及對輪縠表面、葉片產生破壞。那么,該如何防止氣蝕產生呢?  降低工作液的溫度  水環真空泵在運行時,排出的氣體會帶出一定量的工作液,必須要連續不斷地向泵腔內提供工作液才能保證其正常工作。供入腔體內的工作液溫度越低,其飽和蒸汽壓則越低。  假設真空泵的工作點在80mbar (絕對壓力),水溫越高,工作點絕對壓力與水的飽和蒸汽壓的差值就越小,真空泵越容易產生汽蝕。所以,在水環真空泵工作點為固定值的前提下,降低工作液溫度可以達到防汽蝕的效果。  降低吸入氣體溫度  如果吸入氣體溫度過高,氣體在與泵內液體接觸時,壓縮熱以及氣體本身的熱量都會傳遞到液體中,從而使液環溫度升高,也就是使泵腔內液體的飽和蒸汽壓升高。相反,降低吸入氣體溫度可以降低液環溫度,從而降低泵腔內液體的飽和蒸汽壓。  使水環真空泵運行在安全區域  在選用液環式真空...
2020 - 12 - 11
真空吸塑機(又叫熱塑成型機)這種成型工藝主要是利用真空泵產生的真空吸力將加熱軟化后的PVC、PET、PETG、APTT、PP、PE、PS[1]等熱可塑性塑料片材經過模具吸塑成各種形狀的真空罩、吸塑托盤、泡殼等。真空泵能夠確保塑料膜或塑料片精確地按照模具而成型。  1.真空吸塑工藝  v 吸塑工藝又稱真空加熱成型工藝,利用模具冷卻用熱塑性塑料的片材作為原料加熱,真空吸成型,  v 廣泛應用塑料包裝,廣告,裝飾等行業,  v 流程:塑料片材——切割——固定——加熱——成型——脫模——去料邊——成品,  v 吸附壓力:模具底部抽真空(100~ 300mbar),使片材兩面產生壓差,貼附模具成型。  2.真空吸塑機的主要應用  1、塑料包裝行業(吸塑包裝、塑膠、電池、玩具、禮品、五金、家電、電子、文具、裝飾)  2、食品包裝行業(快餐盒、水果托盤、餅干盒)  3、醫藥行業(藥丸包裝、藥片包裝)  4、工業上冷卻塔冷卻水導流板等,  5、裝飾用立體浮雕圖案、塑料天花板、壁板、汽車材料、衛生器材等制造行業,  6、適合生產各種顏色片材:聚乙烯PS、聚氯乙烯PVC、有機玻璃、ABS、聚甲基丙烯酸甲酯;植絨片材;環保片材APET、PET、PP等;光降解材料;生物降解材料等塑料制品。  3.真空吸塑機如何選型真空泵  真空吸塑機的真空泵選型,首先看參數,以下兩種指標作為參考,  1、真空度:所謂真空...
2020 - 12 - 24
螺桿真空泵是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備,在運用的過程中,難免會發作磨損的問題,下面就給我們介紹一下設備呈現磨損的原因:  1、物料中如有碳酸鈣和玻璃纖維等填充料,能加速螺桿和機筒的磨損。  2、螺桿真空泵轉速應調校妥當:  (1)在注塑塑料時,假設用高的轉速成則在進步對塑料的剪切力的一起,亦將令強化相應地發作更多被撕碎的纖維,被撕碎的纖維含有尖利結尾,令磨損力大為增加。  (2)無機礦物質在金屬表面高速滑行時,其刮削作用也不小。所以轉速不宜調得太高。  3、螺桿真空泵螺桿在機筒內滾動,物料與二者的摩擦,使螺桿與機筒的工作表面逐漸磨損:  (1)螺桿直徑逐漸縮小,機筒的內孔直徑逐漸加大。這樣螺桿與機筒的合作直徑間隙,隨著二者的逐漸磨損而一點點加大。  (2)因為機筒前面機頭和分流板的阻力沒有改變,這就增加了被擠塑物料前進時的漏流量,即物料從直徑間隙處向進料方向流動量增加。  (3)效果使塑膠機械生產量下降,這種現象又使物料在機筒內停留時間增加,構成物料分解。假設是聚乙烯,分解發作的氯化氫氣體加強了對螺桿和機筒的腐蝕。  螺桿真空泵工作時與物料產生摩擦的原因就介紹完了,用戶在使用產品過程中應定期對設備進行維護保養工作,確保設備運行的穩定可靠,提高設備的利用率。
2021 - 01 - 05
當真空泵工作時,常常會呈現冒煙、噴油等毛病;那么為什么真空泵會呈現冒煙、噴油的景象?很多人不清楚原因。今天告訴大家最常見的真空泵冒煙、噴油幾種毛病及解決辦法。  1、做完保養后開機就一直冒煙  當剛做完保養,真空泵過濾器剛剛安裝上去開機的那一時刻,排氣口出現少量的煙霧,那是正常現象,那只是在保養前油箱內未排完的氣體而已,一分鐘就可以消失了。如果在真空泵在做完保養后開機就一直冒煙,則就要考慮是否是過濾器沒有安裝到位,或是過濾器密封圈與泵體接觸位置是否有異物存在影響密封度,導致氣體未經過濾而排出 。如果安裝檢查無問題,則就考慮是否真空泵本身的密封組件是否有問題或新安裝的過濾器質量有無異常了。  2、保養完畢兩個月內出現冒煙  保養完畢后使用了幾天到兩個月內開始出現冒煙現象,則考慮是過濾器出問題了,正常情況下過濾器使用壽命應該是2000小時或三個月以上。如果不到這個時間就出現冒煙現象,要么是過濾器質量有問題,要么是真空泵油有問題,到底是哪個有問題呢?辨別方法是:將過濾器拿出來看看,如果外表面的棉已呈黑色,或已經很臟了,則是真空泵油的問題了,如果棉表面還很凈,而濾芯堵死了無法排氣則是過濾器的問題。  3、使用2000小時或三個月后出現冒煙 使用2000小時或三個月后出現冒煙現象,基本是正常現象了,該做保養了。同時也表明使用環境不是很好,或是泵的保養不夠好,一般情況下,濾芯應該可以使用半年以...
2021 - 01 - 15
干式真空泵用途及使用范圍多表現為整體結構的應用,軸封采用的是機械密封,它本身具有結構簡單、安裝簡捷、無油安全可靠等系列特點。干式真空泵適于抽除氣體與濕潤蒸汽,吸氣壓力可達到固定真空度,當真空泵在吸氣壓力低的狀態下長期開展工作時,應該聯接汽蝕保護管對干式真空泵進行保護,如配大氣噴射器吸氣壓力可達高標準,噴射器可以直接安裝在真空泵的吸氣口上,從而作為壓縮機使用時,其壓力大至是絕壓的標準。  干式真空泵被廣泛用于石油化工、食品制糖工業等領域,因而在工作過程中,氣體的壓縮過程是等溫的效果,這樣在壓縮和抽吸易燃易爆氣體時,不容易發生爆炸,所以干式真空泵應用更加廣泛。干式真空泵的安裝時必須水平,并通過底角的孔用螺栓安裝相對牢固。為了防止在安裝時焊渣進入干式真空泵,這樣在干式真空泵安裝時,應確保吸氣管上安裝過濾網即可。干式真空泵的進氣管上需裝有逆止閥,方便在停車時,避免干式真空泵內的水在排氣管方面的壓力作用下應用系統。干式真空泵采用的機械密封,若是出現泄漏現象,應檢查機械密封的動和靜環是已損壞了的,若是密封圈已老化,正是出現相關情況,均需更換新的零件設備。
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Hot News / 熱點新聞
發布時間: 2025 - 04 - 29
來源: 235
羅茨水環機組:塑膠廠“全年無休”的硬核生產力引擎在塑膠加工行業,設備宕機是懸在生產線上方的“達摩克利斯之劍”。傳統真空泵因故障頻發、能耗失控,常讓企業陷入“停機搶修—訂單積壓—利潤縮水”的惡性循環。而羅茨水環真空機組的出現,正以“全年無休”的穩定性、“三防一體”的硬核性能,重塑塑膠廠的生產邏輯。工人從“救火隊員”變身“巡檢員”,老板直呼“省下的錢夠換輛特斯拉”——這場由真空系統引發的效率革命,正在...
發布時間: 2018 - 11 - 10
來源: 290
真空吸附是一種常見的一種真空泵應用,CNC加工加心就常常用真空泵來達到負壓真空吸附。今天我們來了解一下CNC雕刻機如何運用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空負壓來“吸附”工件以達到夾持工件的目的。如圖1 所示:通氣口與真空發生裝置相接,當真空發生裝置啟動后,通氣口通氣,吸盤內部的空氣被抽走,形成了壓力為P2 的真空狀態。此時,吸盤內部的空氣壓力低于吸盤外部的大氣壓力P1,即P2      1.    初次啟動,用螺絲刀撥動電動機風扇,確保葉輪無卡滯;    2.    吸氣口與雕刻機吸附管道連接,嚴格進行密封,防止泄露;3.  必須用4平方以上的線。接線時,先按照一定順序接,真空泵應該為順時針方向轉,如果電機反轉,任意調換其中的兩根線即可。4.連接電動機電源,并調整運轉方向與所標相符;真空泵需要的電源開關不低于100A。真空泵的電源要獨立,不許和其他設備共用一個電源開關,如果出現電機轉速慢或者電源開關跳閘時,應及時關閉電源檢查電路是否正常。    5.向水箱內注水,直到上水位口淌水為止;    6.打開向泵內注水閥門,并等待三分鐘,確保工作液流入泵內。    7.真空泵在每天工作之前要進行補水,雕刻機在雕刻完每一塊板時要把雕刻的閥門關閉,再上另一塊板,不要切斷真空泵電源,如果切斷真空泵電源不關閉雕刻機閥門會導致真空泵的真空度變小。    8.啟動電動機,真空泵開始工作,吸附臺面產生吸附效果...
發布時間: 2018 - 11 - 08
來源: 110
不銹鋼真空泵在使用的過程中,有時候會出現困油和困水,輸不出介質的問題,遇上這樣的問題我們應該怎么解決呢?下面就為您介紹一下。  (進口不銹鋼真空泵圖)不銹鋼真空泵困油問題?       不銹鋼真空泵要能連續地供油,就要求齒輪嚙合的重疊系數e大于1,當出現同時有兩對齒輪嚙合的瞬間,在兩對齒輪的齒向嚙合線之間形成了一個封閉容積,一部分油液也就被困在這一封閉容積中,齒輪連續旋轉時,這一封閉容積便逐漸減小,到兩嚙合點處于節點兩側的對稱位置時,封閉容積為最小,齒輪再繼續轉動時,封閉容積又逐漸增大,直到容積又變為最大。        在封閉容積減小時,被困油液受到擠壓,壓力急劇上升,使軸承上突然受到很大的沖擊載荷,使泵劇烈振動,這時高壓油從一切可能泄漏的縫隙中擠出,造成功率損失,使油液發熱等。當封閉容積增大時,由于沒有油液補充,因此形成局部真空,使原來溶解于油液中的空氣分離出來,形成了氣泡,油液中產生氣泡后,會引起噪聲、汽蝕等一系列惡果。以上情況就是不銹鋼真空泵的困油現象。這種困油現象極為嚴重地影響著不銹鋼真空泵的工作平穩性和使用壽命。        為了消除困油現象,在不銹鋼真空泵的泵蓋上銑出兩個困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置應該使困油腔由大變小時,能通過卸荷槽與壓油腔相通,而當困油腔由小變大時,能通過另一卸荷槽與吸油腔相通。兩卸荷槽之間的距離,必須保證在任何時候都不能使壓油腔和吸油腔互通。 (進口不銹鋼真空泵圖)不銹鋼真空泵出水量少原因?不銹鋼真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。不銹鋼真空泵出水量少是運用中常見的一個問題,這種情況會形成效率降低,招致這種現象的詳細緣由如下:1、主要緣由是所運用的不銹鋼真...
發布時間: 2018 - 11 - 03
來源: 219
阿特拉斯螺桿真空泵應用于鋰電池行業:                         阿特拉斯DZS真空泵用于輸送行業:                 阿特拉斯螺桿真空泵用于包裝行業:阿特拉斯螺桿真空泵用于真空夾持:     阿特拉斯雙級旋片真空泵應用于抽空行業:
發布時間: 2018 - 11 - 03
來源: 164
半導體工藝真空主要用在蒸發,濺射,PECVD,真空干法刻蝕, 真空吸附,測試設備,真空清掃等等鍵合工序,半導體生產制造過程中容易產生易燃易爆以及有毒的物質氣體,會對生產及人員安全造成威脅,因此,半導體真空泵應用時需要注意的幾個安全事項:  1、定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:  半導體真空泵應用時,抽取介質過程中經過反應室與真空泵,其成分可能極為復雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設是油封式機械泵,這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質,就可能堵塞真空泵或管路系統,影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設置過濾設備。  2、半導體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度:  半導體易產生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質,在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍.  3、真空泵注意氧氣的濃度:  空氣中的氧如果濃度過高也會發生燃燒及爆炸風險。所以一些情況下需注意氧的濃度,采用惰性氣體來稀釋,防止濃度過高;假設是油封機械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油,并及時更換油濾和油品。  4、防止真空泵溫度過高:  比較容易理解這點,半導體在真空泵的應用中,有害氣體比較多,而無論是干式真空泵還是油封機械泵,泵腔內溫度過高,高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發生危險。  當我們在使用真空...
發布時間: 2018 - 10 - 26
來源: 173
羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于 1944 年首先出現于德國,是為適應在 10 ~ 1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵,必須與前級泵組合成羅茨真空泵機組才能使用,羅茨真空機組在、造紙、食品、電子工業、冶金、石油化工等都有應用到。 根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵和高真空多級羅茨泵。國內用量最多的為中真空羅茨泵 ( 以下簡稱羅茨泵 ) 。羅茨泵與其它油封式機械泵相比有以下特點: 1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速; 2、轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速; 3、泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染; 4、泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感; 5、壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差; 6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。 怎么選擇羅茨真空機組:    1.羅茨真空機組的壓縮比,羅茨泵真空機組的羅茨泵與前級泵的抽速比的選擇是很重要的。因為羅菠泵的壓縮比很有限。這一壓縮比決定著前級泵的容越,因壓縮比是兩者抽速的反比。一般壓縮比在2~10內選取。另外應當考慮對預抽時問的要求。真空設備是作為輔助設備應用于各種機械設備中的.如果正常工作時間遠比預抽時間,可選較小的前級泵(壓縮比可大些),若真空窒較大.而且要求很快預抽,就用較大的前級泵。有時為了更好地發揮設備的效率,機組前裝有一臺較大的預抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持,這樣做是為了節約功率。      2.羅茨真...
發布時間: 2018 - 10 - 24
來源: 472
旋片式真空泵是一種油封式機械真空泵,主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。旋片泵有單級和雙級兩種,雙級就是在結構上將兩個單級泵串聯起來,一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。。旋片式真空泵工作壓強范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵,旋片式真空泵可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵,它被廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等行業和科研部門。阿特拉斯雙級旋片泵:使用旋片式真空泵的十個知識點:1、使用旋片式真空泵前,保證泵的清潔,防止雜物進入泵內。查看油位,以停泵時注油至油標中心為宜。過低對排氣閥不能起封油作用,影響真空度。過高,會引起通大氣啟動時噴油。運轉時,油位有所升高,屬于正常現象。油采用規定牌號的清潔真空泵油,從注油孔加入。加油完畢后,應旋上螺塞。油宜經過濾,以免雜物進入,堵塞油孔,加油按油標指示刻度加入真空泵油。旋轉三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。2、環境溫度過高時,油的溫度升高,粘度下降,飽和蒸汽壓會增大,會引起極限真空有所下降,特別是用熱偶計測得的全壓強。3、旋片真空泵不應用來抽除含氧量過高、有爆炸性以及對金屬有腐蝕的氣體。另外,也不宜吸入能與泵油起反應的氣體和含有大量水蒸氣的氣體等4、旋片真空泵可在通大氣或任何真空度下一次啟動,泵口如裝接電磁閥,應與泵同時操作。5、旋片真空泵運轉正常后.緩慢旋轉三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。6、用手轉動皮帶輪,檢查運轉情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉動方向。7、使用一段時間后,皮帶變得松弛,要進行電機位置的調整。注意補充泵油,發現泵油內混有雜物或水時,要更換新油,清洗泵體,不準用乙酸乙酣、丙酮等揮發性的液體清洗泵體。8、檢查大連真空泵的極限真空以壓縮式水銀真空計為準,如計經充分預抽效驗,泵溫達到...
發布時間: 2018 - 10 - 23
來源: 180
印刷行業用GHS1600VSD+螺桿真空泵和ZS18正壓鼓風機, 此行業要求真空度300-500mbar電子等行業,用GHS VSD+節能螺桿真空泵小部件夾持加工,要求真空度:300-500mbar  易拉罐生產線,使用GHS VSD+系列阿特拉斯螺桿真空泵,要求真空度300-400mbar電子、板式家具等行業,大部件夾持加工,使用螺桿真空泵達到要求真空度100-200mbar鋰電池部分工藝使用螺桿真空泵,要求真空度20-100 mbar 食品包裝,用螺桿真空泵進行真空包裝,要求真空度5-20 mbar
發布時間: 2018 - 10 - 18
來源: 146
大部份行業用到真空機組,那么真空機組的類型有哪些呢,怎么組合選型?真空機組一般依據主泵的類型來命名,比如水環真空機組,水環羅茨機組,螺桿真空機組等等,依據產品特點來進行分類,如含油真空機組與無油真空機組;常見的是,是按真空使用規模來分,可分為低真空機組、中真空泵機組、高真空機組及超高真空機組,下面和恒才公司一起來了解一下吧。 真空機組類型:1.低真空機組,作業壓力高、排氣量大,多用于真空運送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機真空脫氣等。低真空機組常用的主泵,容積式真空泵中的往復泵、水環泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等這些直排大氣型的真空泵都可以擔任,但依據被抽氣體的清潔程度、濕度及其他條件,需裝備除塵器、氣水油水分離器、枯燥阱等設備。2.中真空機組,適用于需求大抽速和獲得中真空的各種真空體系中,如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫藥化工、電工焊接等職業。以往中真空機組由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。跟著螺桿真空泵這樣的無油真空泵的鼓起,羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機組也逐步增多,適應性更廣。3.高真空機組,作業于分子流狀態下,作業壓力區間在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情況下主泵由擴散泵、分子泵、鈦提高泵以及低溫冷凝泵等來承擔,因為它們無法直接在大氣下作業,因而必須裝備前級泵、預抽泵等,特殊情況下為防止氣壓動搖還需求裝備維持泵與儲氣罐等。4.超高真空機組,作業壓力區間在10-6~10-10Pa,需求主泵的極限真空要在10-7~10-8Pa以上且在作業壓力區間內確保相應的抽速,如濺射離子泵、渦輪分子泵等,并且對體系組成的資料要求能飽嘗200~450℃高溫烘烤并確保低漏氣率與出氣率等。    真空機組選型:    1、真空泵組合,各種...
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