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2019 - 11 - 29
使用防腐真空泵時的注意事項  1、防腐真空泵產生的振動對過程和環境有影響嗎?如果不允許該過程,則應選擇無振動的泵或采取防振措施?! ?、了解要泵送的氣體的成分。該氣體不包含可冷凝蒸氣,是否有顆粒灰塵以及是否具有腐蝕性。在選擇防腐真空泵時,您需要了解氣體成分并為所泵送的氣體選擇合適的泵。如果氣體中包含蒸氣,顆粒和腐蝕性氣體,則應考慮在泵的入口管上安裝輔助設備,例如冷凝器和集塵器?! ?、防腐真空泵應能夠清除真空設備在其工作壓力下過程中產生的所有氣體?! ?、防腐真空泵已正確組裝。由于防腐真空泵具有選擇性泵送功能,因此有時一個泵無法滿足泵送要求,因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如,鈦熱升華泵對氫氣的抽速很高,但不能抽氦氣,而三極濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣則有一定的抽速,兩者結合使用,即真空裝置會獲得更好的真空度。另外,某些水環真空泵不能在大氣壓下工作,需要預先真空。一些水環真空泵的出口壓力低于大氣壓,并且需要前級泵,因此需要結合使用?! ?、防腐真空泵設備對油類污染的要求。如果設備嚴格要求無油,則應選擇各種無油泵,例如:水環泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有一個油泵,加上一些防止油污的措施,例如加設冷阱,擋板,集油器等,也可以滿足清潔真空的要求?! ?、正確選擇防腐真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍?! ?、...
2019 - 12 - 05
旋片真空泵是真空技術中最基本的真空獲取設備之一。它主要由兩個(或多個)旋片組成,它們在轉子槽中滑動(通常是徑向的)并與定子的內壁接觸。泵腔分為具有多個可變容積的旋轉可變容積真空泵?,F已廣泛用于冶金,機械,電子,化工,輕工,石油及科研部門,在工業生產中起著重要作用。但是,使用一段時間后,用戶會發現泵體會產生一些故障。主要問題有兩個方面:操作失敗和性能失敗。以下是對旋片真空泵故障的這兩個方面的描述及其解決方案?! 榱朔乐挂蚧赜秃头聪蛐D而噴入燃油,應先打開泵端口,并按規定用手將存儲在泵中的油倒入燃油箱中。同時檢查油位,它應在油位中心上方,但不要填滿油位?! ∨袛噢D向的輔助方法。將護套倒置在旋片真空泵端口上。如果在打開泵后將其吸住,則泵將向前,吹掉并倒轉。正常聲音為正向,異常聲音為反向?! 〗ㄗh將故障分為運行故障和性能故障。操作故障可能包括泵不轉,泵溫度過高,漏油,漏水以及最大功率超過標準。性能故障可能包括不符合標準或無法滿足要求的極端壓力,極端全壓,提取效率,噪音,燃油噴射,氣鎮性能等。  1、旋片真空泵不旋轉。如果情況未知,則無法先打開泵,以免加劇故障??梢院筒荒苡檬忠苿??! .泵可以旋轉而不會旋轉。原因可能是耦合故障;皮帶打滑;電機接線錯誤;電機損壞;停電等  B.不能轉動或沉重,原因可能是起動旋片真空泵的溫度太低而泵油的粘度太高;出于設計和制造原因,停止泵時會回油過多。由于油...
2019 - 12 - 10
在正式安裝水環真空泵之前,需要制定嚴格的安裝計劃,以便在施工過程中更加方便,并提高安裝效率。讓我們看一下安裝要求。  一、 水環真空泵的入口管應高于泵的入口中心線,出口管應避免引起較大阻力的因素,例如爬上出口管,以直角轉彎等?! 《?、系統出口和泵入口之間的距離越短越好?! ∪?、 水環真空泵管路的轉數更少,更好。  四、管道的彎頭應平穩過渡?! ∥?、 水環真空泵的進水管需要安裝閥門以調節進水口?! ×?、入口和出口管道的直徑應與產品的入口和出口直徑相同。如果真空系統很小,則入口和出口管道的直徑可以很小,但不能小于產品入口和出口直徑的70%,出口直徑應大于或等于入口管道直徑。       水環真空泵是我們公司主打的一款產品,您在購買的時候可以有兩種選擇,國產和進口.這兩種的差異,我們的客服會給您做詳細的介紹.如果您需要水環真空泵請撥打聯系電話?! ∷h真空泵的安裝技巧將介紹給大家,在安裝過程中會根據自己的實際情況進行相關的調試工作,不妨從中學習。水環真空泵的安裝包括管道布局等都需要專業的工程人員進行安裝,如果您沒有專業的安裝人員,一定要向廠家說明,您需要進行安裝,調試工作.我們會安排專業的工程人員進行安裝和調試工作.
2019 - 12 - 13
作為油泵的一種,越來越多的人選擇了高溫油泵。特別是近年來,技術的發展和功能的改進使得對高溫油泵的市場需求越來越大,與之相關的制造商也如雨后春筍般涌現。恒才是一家專門生產和銷售高溫產品的公司。油泵和其他泵。公司致力于泵配套溫度控制設備的技術改造,研發和創新。生產的泵廣泛用于模具溫度機,木工機械,皮革機械,食品機械,鍋爐系統,醫藥,化工等領域。  高溫油泵只是一種油泵。在當前市場上,更主流的油泵包括噴射泵,自吸泵,機油類型等,其中:  1、燃油噴射泵:燃油噴射泵是由燃油噴射泵,調速器和其他組件安裝在一起的整體,可用于汽車柴油機。噴油泵調速器是保證柴油發動機低速運行并限制發動機高速的組件,可確保噴射量與速度之間有一定關系。噴油泵是柴油發動機的重要組成部分,被認為是柴油發動機的“ 心臟”部分。如果出現問題,則整個柴油機將發生故障。  2、自吸泵:在啟動自吸泵之前,先向泵殼注水,或者泵殼本身裝有水。啟動后,葉輪高速旋轉,使葉輪槽道中的水流到蝸殼。此時,進氣口形成真空,因此進氣口止回閥打開,并且吸水管中的空氣進入泵并通過葉輪槽道到達外邊緣。然后,它與從右回水孔流出的水匯合并沿著蝸殼流動。由于液體不斷撞擊蝸殼中的葉柵,因此強烈攪拌并與空氣混合,生成氣水混合物,該混合物不斷流動,因此氣體和水無法分離?;旌衔镌谖仛こ隹谔幈簧囝^剝離,并沿著短管進入分離室。分離室中的空氣由出口管分離并排出,同時水仍通過...
2019 - 12 - 17
1、高溫泵的檢查工作包括:       1)檢查高溫泵的使用和高位槽導熱油的溫度,嚴禁超過70℃,以防止結焦和泄漏。  2)旋轉高溫泵本體和燃煤爐的爐膛,爐排及其輔助設備。有必要及時發現問題并采取相應措施?! ?)燃煤加熱爐的爐膛不應出現著火和吸氣現象。熔爐高溫導熱齒輪油泵的鋼結構以及砌體和熔爐門應完好無損,以始終保持熔爐的密封性?! ?)檢查壓力表,爐溫表及其流量壓力表的值是否處于正常值,以判斷鍋爐的運行方式?! ?)檢查各種設備的操作。傳輸期間不應有噪音。吊運機器之前,燃煤爐調速器上的燃煤爐調速器應有足夠的潤滑油,而引風機則應充滿潤滑油。連接的?! ?、高溫泵的潤滑工作:       定期潤滑每個潤滑點,以確保操作設備的正常運行?! ?、使用高溫泵的記錄工作:       記錄數據(壓力,壓力差,溫度,溫度差)和檢查期間發現的問題,并且必須進行記錄以為將來的故障判斷和處理提供依據。  另外,高溫泵在使用前必須進行檢查。必須除去入口和出口處的石棉墊,并且泵可以靈活旋轉。按照一定的順序進行生產和使用,啟動前的準備工作提高了工作的使用效率。在熱油泵工作之前,泵中已充滿液體,然后啟動熱油泵。葉輪快速滾動。葉輪的葉片帶動液體滾動。當液體滾動時,它依靠慣性流到葉輪的外邊緣...
2019 - 12 - 20
顧名思義,真空機組不是由單個設備組成。它由羅茨真空泵和水環真空泵組成。除用于完成工業上的抽氣功能外,還可以實現真空制冷的功能?! ‘斦婵諜C組用作真空預冷器時,所需的真空度和抽速較高,因此在選擇時必須根據實際情況進行匹配。真空機組在熟肉的過程中用作真空預冷器。描述如下:將熟肉的1/3放入立方反應釜中,熟肉的溫度約為90°C。熟肉的溫度降至約20°C,所需時間為30分鐘以下,且每30分鐘處于真空負壓狀態的水蒸氣的蒸發量為20kg?! ∮捎诜肿釉鰤罕玫母吣蛪盒裕菀资骨凹壉锰幱诹髁康母郀顟B。分子增壓泵的高吸入壓力減輕了前級泵的預泵負擔。分子增壓泵可以在100-50Pa下工作。從大氣到該壓力的前級泵基本上遵循這樣的定律,即壓力每經過一段時間就會下降一個數量級。因此,該單元可以具有高的泵送效率。簡化高真空裝置并消除羅茨泵是分子增壓泵的另一個優點?! τ谳^大的高真空應用設備,可以適當增強前級泵的預泵送能力,以進一步縮短吸入時間。由于預泵送時間與整個排氣過程相比非常短,因此前級泵的使用時間也很長。簡短,因此它可以作為多套設備的預泵使用,這通常非?,F實?! ≌婵毡糜驮诳諝?或氧氣)和金屬催化劑存在下,在一定溫度下氧化時間,會顯示出油的酸值,粘度變化和沉淀物的形成。使用該方法會發生氧化,因此會逐漸形成一些醛,酮,酸和膠,瀝青質和其他物質。氧化穩定性是要抑制上述不利于油品使用的物...
2019 - 12 - 23
旋片真空泵是一種新型設備。當我們到達使用時間時,空氣中的灰塵會覆蓋它。此時,需要拆卸和內外清潔。以下是清潔和組裝設備的一些要點:  1.組裝前  (1)首先安裝高真空端,清洗并干燥,以便組裝。提起彈簧轉子,并將其安裝到高轉子中。然后放入高真空室內,安裝前端板,安裝定位銷,均勻擰緊螺釘。  (2)組裝后,旋轉應靈活.容易.均勻。然后安裝低真空轉子和后端蓋。低轉子的槽應該朝向后端板。安裝排氣閥時,排氣閥片應靠近閥板和其他零件。  2.組裝時應注意:所有旋轉部件都應涂上真空油。嚴禁鐵屑.泥漿.沙子和灰塵落入泵內。定位銷應接觸良好。安裝的泵應能輕松旋轉,且旋轉重量不均勻,不會堵塞現象?! ?.拆卸時應注意各部件的位置.方向和組合緊密度。拆下的零件應分開放置,不允許混合在一起磨損。  4.檢查旋片真空泵的所有部件,看它們是否磨損.粗糙或損壞。根據情況修理或更換它們。  5.請注意,如果在前端板和后端板程度上發現大的劃痕,這意味著轉子在組裝過程中不垂直于中間隔板,并且定位銷應該調整。如果它太嚴重,應該修理或更換?! ?.從真空系統中拆下泵。首先拆下低真空端,拆下后端板,然后拆下低真空轉子和鍵,然后拆下前端板,拆下真空泵轉子和轉子.彈簧等。取下觀察窗.排氣閥和排氣蓋,并用汽油或酒精徹底清潔所有零件?! ?.組裝后,分別從進氣口和加油孔加油,將油裝入視鏡水平線,然后進行試驗?! ⌒婵毡玫葯C器在...
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Hot News / 熱點新聞
發布時間: 2025 - 08 - 01
來源: 1287
晶圓真空吸附選用德國Speck水環真空泵,主要基于其無油設計、高極限真空度、穩定抽氣性能、耐腐蝕耐高溫特性、低噪音與長壽命等核心優勢,這些特性直接解決了晶圓加工對真空環境的嚴苛要求,并提升了生產效率與產品質量。以下為具體分析:一、無油設計,避免污染關鍵需求:晶圓加工對真空環境的清潔度要求極高,任何油污或雜質都可能污染晶圓表面,影響產品質量。Speck優勢:Speck水環真空泵采用無油設計,徹底消除...
發布時間: 2025 - 08 - 01
來源: 1287
晶圓真空吸附選用德國Speck水環真空泵,主要基于其無油設計、高極限真空度、穩定抽氣性能、耐腐蝕耐高溫特性、低噪音與長壽命等核心優勢,這些特性直接解決了晶圓加工對真空環境的嚴苛要求,并提升了生產效率與產品質量。以下為具體分析:一、無油設計,避免污染關鍵需求:晶圓加工對真空環境的清潔度要求極高,任何油污或雜質都可能污染晶圓表面,影響產品質量。Speck優勢:Speck水環真空泵采用無油設計,徹底消除了潤滑油對產品的潛在污染風險。這一特性在醫藥、電子等對清潔度要求極高的行業中尤為重要,確保了晶圓加工過程中的真空環境純凈無污染。二、高極限真空度,滿足精細加工需求關鍵需求:晶圓加工過程中,如吸附、搬運、切割等環節,需要穩定的真空環境以確保加工精度。Speck優勢:Speck水環真空泵能夠實現較高的極限真空度,如某些型號可達到33mbar的低真空水平。這種高真空度能夠確保晶圓在加工過程中被牢固吸附,防止因真空度不足導致的晶圓移動或脫落,從而保證了加工精度和產品質量。三、穩定抽氣性能,適應大規模生產關鍵需求:晶圓生產線通常需要連續運行,對真空泵的抽氣速率和穩定性有較高要求。Speck優勢:Speck水環真空泵具有較高的抽氣速率和穩定的抽氣性能,能夠迅速建立并維持所需的真空環境。例如,某些型號的總氣量達到199m³/h,能夠滿足大規模生產線的需求,確保生產過程的順利進行。四、耐腐蝕耐高溫,適應多種工況關鍵需求:晶圓加工過程中可能涉及腐蝕性氣體或高溫環境,對真空泵的材質和性能提出挑戰。Speck優勢:Speck水環真空泵采用不銹鋼等耐腐蝕材質制造,能夠適應腐蝕性氣體或高溫環境。同時,其工作液溫度范圍廣泛,最高可達80°C,進氣溫度(干)最高可達200°C,吸入氣體(飽和)最高可達100°C,確保了在不同工況下的穩定運行。五、低噪音與長壽命,降低運營成...
發布時間: 2025 - 07 - 31
來源: 1287
將分散的真空泵改造成中央真空泵系統,可通過設備選型與整合、系統設計優化、自動化控制升級、節能與環保措施、系統測試與維護等步驟實現,能顯著提升真空系統的穩定性、節能性及生產效率。以下是具體改造步驟及要點分析:一、設備選型與整合核心設備選擇:根據生產需求選擇合適的真空泵類型。例如,羅茨水環真空機組適用于需要集中抽真空且對真空度穩定性要求較高的場景,如壓機分散小泵的改造;變頻油螺桿真空泵則因其節能空間大、維護成本低,常用于平板硫化機等設備的中央真空改造。設備整合:將原有的多臺分散真空泵整合為中央真空系統,減少設備數量,降低占地面積。例如,將13臺2.2KW的VC-100旋片式真空泵替換為1臺15KW的阿特拉斯螺桿真空泵GHS 900 VSD+,實現節能率80%的同時,減少維護成本和人工成本。二、系統設計優化真空管道布局:合理設計真空管道布局,確保氣體流動順暢,減少壓力損失。管道直徑、長度和彎頭數量等參數需根據實際工況進行優化。真空罐與儲氣罐配置:配置適當容量的真空罐和儲氣罐,以穩定系統真空度,減少真空泵啟停頻率。真空罐內真空度達到設定上限值時,真空泵自動停止運行;當真空度下降至下限值時,備用真空泵組自動啟動。排水系統改造:對于水環真空泵,需優化排水系統以減少水資源浪費。例如,在入口加裝限流孔板,控制軸密封液用量;在后路管線上增設“U”型管,增加介質流動阻力并起到水封作用,減少丙烯氣等有害物質的排放。三、自動化控制升級PLC控制系統集成:采用PLC程序控制系統實現真空系統的全自動化控制。通過觸摸屏人機界面,可設定真空度上下限值、監控系統運行狀態、實現遠程控制及報警保護等功能。智能控制策略:引入變頻驅動(VSD)技術,根據實際負荷需求自動調節真空泵運行速度,實現節能降耗。例如,Edwards真空泵EOSi系列通過閉環壓力控制和主動式能耗管理,提高系統效率。四、節能與環保措施節能技術應...
發布時間: 2025 - 07 - 25
來源: 1291
深圳恒才新型真空引水機組是一款集高效引水、智能控制與強大過濾功能于一體的先進設備,以下從核心配置、性能優勢、應用場景及維護管理四個方面進行詳細介紹:一、核心配置:德國工藝與智能控制的融合德國SPECK水環真空泵高效穩定:采用德國SPECK品牌水環真空泵作為主泵,利用水作為工作介質,通過葉輪旋轉形成水環,實現氣體的吸入、壓縮和排放。其結構緊湊、運行平穩,適用于抽吸含水蒸氣、腐蝕性氣體或微小顆粒的混合氣體,滿足泥水、粉塵等復雜工況需求。耐腐蝕性強:泵體材質可選不銹鋼或特殊合金,適應不同水質和化學環境,延長設備使用壽命。低噪音設計:通過優化水環形成與氣體流動路徑,降低運行噪音,改善操作環境。西門子觸摸屏控制系統智能化操作:配備西門子觸摸屏,實現設備啟停、參數設置、狀態監控、故障報警等功能的集成化操作。用戶可通過界面直觀查看真空度、流量、溫度等關鍵參數,并一鍵調整運行模式(如手動/自動切換)。遠程管理:支持與上位機或云端平臺連接,實現遠程監控與數據分析,提升運維效率。安全保護:內置過載、過熱、缺相等多重保護功能,確保設備安全運行。二、性能優勢:快速引水與高效過濾的雙重保障1-3分鐘快速引水高效抽氣能力:水環真空泵在短時間內建立高真空度(通??蛇_-0.098MPa以上),迅速排除系統內空氣,形成負壓環境,實現快速引水。大流量設計:泵體流道優化,減少阻力損失,確保在引水過程中維持高流量,縮短引水時間。攪拌型過濾器配置直接過濾泥水混合物:過濾器內置攪拌裝置,通過旋轉葉片打散沉淀物,防止泥沙、粉塵等固體顆粒沉積堵塞,同時利用水環的剪切力將顆粒分散在水中,實現高效過濾。微粒狀固體過濾:濾網精度可根據需求定制(如50-200目),有效攔截沙石、微粒等雜質,避免其進入泵體或管道,保護設備免受磨損。排水便捷:過濾器設計有反沖洗功能或快速拆卸結構,可定期清理濾網或排出沉積物,維護簡單,降低停機時間。...
發布時間: 2025 - 07 - 24
來源: 1256
電子晶圓吸附過程中,真空泵的選型需綜合考慮真空度、抽氣量、氣體成分、油污染控制、系統組合、環境適應性及經濟性等因素,以下是具體選型要點及分析:一、真空度與工作壓強核心要求:真空泵的極限真空度需高于設備工作真空度半個到一個數量級。例如,若工藝要求真空度為100Pa(絕對壓力),則真空泵的極限真空度應至少達到50-10Pa。穩定性:泵的工作點需落在其穩定壓強范圍內。例如,某型號真空泵的極限真空度為0.1mBar,其穩定工作壓強范圍為1.0mBar至0.5mBar,因此工作點應選在此區間內。應用場景:晶圓減?。盒?90kPa以上真空度(約90%真空度),以抑制振動和熱變形。晶圓鍵合:需5×10?? mbar至5×10?? mbar(約5×10?² Pa至5×10?? Pa)超高真空度,避免氣體雜質污染鍵合界面。砷化鎵NEA光電陰極激活:需優于10 Pa真空度,防止殘余氣體在晶片表面形成污染物吸附層。二、抽氣量與抽速定義:抽氣量指真空泵在工作壓強下排走氣體的能力,單位通常為m³/h或L/s。計算方法:可通過公式 S=tV×ln(P2P1) 計算所需抽速,其中 S 為抽速(L/s),V 為真空室容積(L),t 為達到目標真空度所需時間(s),P1 為初始壓強(Pa),P2 為目標壓強(Pa)。應用場景:高精度加工:如光刻、鍵合等工藝,需高抽速(如>1000L/s)以快速建立真空環境。一般加工:如切割、研磨等工藝,70-90 kPa真空度下,抽速需求相對較低。三、氣體成分與輔助設備氣體類型:需了解被抽氣體成分(如蒸氣、顆粒、腐蝕性氣體等),針對性選擇泵型。含蒸氣或顆粒:需在進氣口安裝冷凝器或除塵器,防止泵體堵塞或磨損。腐蝕性氣體:需選用耐...
發布時間: 2025 - 07 - 22
來源: 1257
阿特拉斯螺桿真空泵在高效節能、高可靠性、環保性、智能控制、廣泛適用性及低維護成本等方面具備顯著優勢,具體分析如下:1. 高效節能,降低運行成本變頻驅動(VSD)技術:阿特拉斯螺桿真空泵(如GHS VSD+系列)采用變速驅動技術,可根據實際需求自動調節轉速和功率。例如,GHS730VSD+在低負荷時功率可降至3千瓦,相比傳統水環泵可節省50%以上能耗,年節省電費可達數萬元。干式運行,無需冷卻水:風冷設計省去了水環泵所需的冷卻塔和水循環系統,進一步降低能耗和運行成本。高抽速與低功耗:在相同抽速下,阿特拉斯螺桿泵的功率消耗顯著低于水環泵。例如,GHS1300VSD+功率為22千瓦,而同等抽速的水環泵需45千瓦,年節省電費超50萬元。2. 高可靠性,延長使用壽命耐用的螺桿轉子設計:轉子采用高強度材料,表面經過特殊處理,耐腐蝕、耐磨損,理論壽命超40萬小時(約80年),20年內無需更換機頭。無油污染,清潔運行:干式壓縮技術避免油污染,適用于對清潔度要求高的行業(如半導體、制藥、食品包裝),同時減少因油污染導致的設備故障。穩定真空度:通過變頻調節,真空泵能維持穩定的真空壓力,減少生產波動,提高產品質量。3. 環保性能優越零廢水排放:干式運行無需工作液體,徹底解決水環泵廢水排放問題,符合環保要求。低噪音與低振動:優化設計的螺桿轉子和減震結構使運行噪音顯著降低,改善工作環境。無油蒸汽排放:避免傳統油封泵的油蒸汽污染,保護操作人員健康。4. 智能控制與便捷操作全變頻設計:支持低負荷省電運行,同時通過Elektronikon監控系統實現遠程監測和故障診斷,提高管理效率。即插即用安裝:集成化設計(如電氣室、機殼)簡化安裝流程,占地面積小,適合空間有限的工廠。自動啟停功能:根據生產需求自動啟停,減少人工干預,降低能耗。5. 廣泛適用性多行業應用:覆蓋電子半導體、制藥、化工、冶金、食品包裝等領域,滿...
發布時間: 2025 - 07 - 09
來源: 1257
在電子行業實現集中抽真空,需從設備選型、系統設計、工藝流程優化及維護管理四方面系統規劃,以下為具體方案與分析:一、核心設備選型:匹配工藝需求,兼顧效率與成本干式真空泵爪式泵:耐粉塵、高軸扭矩,適合刻蝕工藝等產生顆粒物的場景。螺桿泵:粗低真空段抽氣效率高,適合大工藝腔體預抽真空。羅茨泵:多級結構可提升真空度,常與螺桿泵或爪式泵組合使用。適用場景:半導體制造、光伏產業、平板顯示等對無油污染要求高的領域。優勢:抽速范圍寬、無油污染、耐腐蝕、能耗低,適用于腐蝕性氣體或粉塵顆粒物的抽取。類型選擇:案例:半導體制造中,L/L腔(進出樣品腔)多采用多級羅茨泵,工藝處理腔則以羅茨+爪式干泵或多級羅茨干泵為主。分子泵渦輪分子泵:工業領域應用廣泛,與機械泵聯用可提升抽速。磁懸浮分子泵:半導體領域規模較大,無摩擦、壽命長。適用場景:高真空度需求,如半導體制造、真空鍍膜、空間模擬實驗。優勢:通過高速旋轉轉子將氣體分子排出,可獲得極高真空度(達10?? Pa),且對大多數氣體抽取效果好。類型選擇:案例:在半導體工藝處理腔中,分子泵常與干泵組合,實現低壓下高抽速。低溫泵適用場景:超高真空環境,如超導材料研究、低溫物理實驗。優勢:利用低溫冷凝原理,可獲得極高真空度(達10?¹² Pa),且無油污染。限制:結構復雜、成本高,需定期釋放和再生,市場規模較小(約占半導體真空泵的10%)。案例:在電子束設備中,低溫泵與擴散泵、羅茨泵配合,實現高真空冷卻。二、系統設計:模塊化與集成化結合,提升靈活性模塊化設計功能分區:將抽真空系統劃分為預抽模塊(機械泵+羅茨泵)、高真空模塊(分子泵/擴散泵)、低溫模塊(低溫泵)等,根據工藝需求靈活組合??焖偾袚Q:通過閥門控制氣體流向,實現不同工藝腔體的快速切換,減少設備閑置時間。案例:半導體制造中,L/L腔與工藝處理腔獨立設計,通過管道連接至中央真空泵組,實現...
發布時間: 2025 - 07 - 03
來源: 547
在塑膠造粒產線中,干式螺桿真空泵可全面替代水環式真空泵,其優勢體現在環保性、工藝適應性、穩定性、經濟性及安全性五大方面,具體分析如下:1. 環保性:無污染排放,降低合規風險水環泵痛點:水環泵以水為密封介質,運行中水環與物料、氣體接觸易導致水質污染,尤其處理腐蝕性或有毒塑膠原料時,廢水處理成本高且環保壓力大。例如,某塑膠企業因水環泵油霧排放超標被罰款,后更換為干式泵后順利通過環保認證。干式泵優勢:采用無油無水設計,徹底杜絕油霧、油蒸汽及廢水排放,避免塑膠顆粒表面油斑、異味等問題,提升產品純度。同時,尾氣中未冷凝的溶劑(如甲苯)可通過常壓冷凝器高效回收(回收率超96%),減少VOCs排放,滿足嚴格環保法規。2. 工藝適應性:滿足高真空度與復雜工況需求真空度與穩定性:水環泵極限真空度僅達2000Pa,需多級泵串聯才能實現更高真空,且真空度受水溫、水質影響大(如夏季水溫升高導致真空度下降)。干式螺桿泵單臺即可直接抽至1Pa(絕壓),且運行穩定,不受水溫及抽出溶劑影響,滿足塑膠造粒中除氣、脫揮等高精度工藝需求。耐腐蝕與粉塵處理:水環泵不便進行防腐處理,難以適應酸性或含腐蝕性添加劑的工況。干式泵過流部件(如螺桿、泵腔)可采用鍍鎳、特氟龍涂層或哈氏合金,耐受大部分有機酸、無機酸腐蝕;同時內置高效濾芯或旋風分離裝置,攔截塑膠粉塵、揮發物等雜質,避免磨損或堵塞,延長設備壽命。3. 穩定性:減少非計劃停機,提升生產效率水環泵缺陷:水環與轉子接觸易磨損,需定期更換水環和濾芯,維護成本高。長時間運行后,水溫升高或溶劑混入水體導致真空度下降,需冷凍鹽水冷卻水箱,增加能耗和故障率。干式泵優勢:螺桿轉子間無接觸,無磨損,壽命長達10年以上,維護僅需定期更換濾芯(壽命可達數千小時,支持在線反吹或脈沖清灰,無需停機)。無油設計避免油品變質導致的真空度波動,確保工藝參數穩定,減少次品率。例如,某企業采用干式泵...
發布時間: 2025 - 07 - 01
來源: 130
干式螺桿真空泵相比水環真空泵具有以下核心優勢:1. 極限真空度更高,系統簡化干式螺桿真空泵:單泵可直接從大氣壓抽至 1Pa(絕壓),極限真空度高,無需多級泵串聯,系統結構簡單,連接管道少,泄漏點少,故障率低。水環真空泵:極限真空度僅 2000-4000Pa,需與多級羅茨泵或蒸汽噴射泵串聯才能實現更高真空,系統復雜,維護成本高。2. 長期運行穩定性強,不受水溫影響干式螺桿真空泵:無水環設計,運轉穩定,不受水溫波動或抽出溶劑的影響,適合連續高負荷運行。水環真空泵:水溫升高會導致真空度下降,需用冷凍鹽水冷卻水箱,增加能耗;溶劑混入水體還會進一步降低真空性能。3. 溶劑回收率高,環保經濟干式螺桿真空泵:工作腔內無介質,排氣端可設置常壓冷凝器,對未冷凝溶劑(如甲苯)進行高效回收,回收率 超96%,且無廢水產生。水環真空泵:溶劑直接混入水體,無法常壓冷凝回收,需定期換水,產生大量廢水,處理成本高。4. 防腐蝕性能優異,適應惡劣工況干式螺桿真空泵:過流部件(如螺桿、泵腔)可采用鍍鎳或特氟龍涂層,耐受大部分有機酸、無機酸腐蝕,適用于化工、制藥等腐蝕性氣體環境。水環真空泵:防腐處理困難,一般不適用于酸性體系,且溶劑進入水箱可能腐蝕設備。5. 安全性高,無倒吸風險干式螺桿真空泵:無水無油設計,即使停泵倒吸也不會污染系統或引發危險,保障產品質量和生產安全。水環真空泵:停泵時水可能倒吸回真空系統,存在污染物料或引發分解爆炸的風險。6. 維護成本低,壽命長干式螺桿真空泵:無油設計,無需更換潤滑油或濾芯;螺桿間無接觸,磨損小,壽命長達 10年以上,維護簡單。水環真空泵:需定期更換水、濾芯和機械密封件,維護成本高;葉輪與水體摩擦導致磨損,壽命較短。7. 節能效果顯著干式螺桿真空泵:采用永磁變頻技術,能耗比水環泵低 30%-50%,且無額外冷卻系統能耗。水...
發布時間: 2025 - 06 - 27
來源: 1247
溫控行業中,高溫磁力泵憑借其無泄漏、耐高溫等特性,在高溫液體輸送領域發揮著重要作用,以下從工作原理、核心優勢、應用場景及注意事項展開介紹:一、工作原理高溫磁力泵通過磁力傳動器(磁力聯軸器)實現無接觸力矩傳遞,以靜密封取代動密封,使泵達到完全無泄漏。電機帶動外磁轉子旋轉時,磁力線穿過隔離套帶動內磁轉子和葉輪同步旋轉,介質封閉在靜止的隔離套內,避免了傳統泵的泄漏問題。二、核心優勢無泄漏設計:泵軸由動密封變為封閉式靜密封,徹底杜絕介質泄漏,適用于輸送有毒、有害、易燃、易爆和貴重液體介質,是創建無泄漏、無污染文明車間、文明工廠的理想用泵。高溫適應性:采用耐高溫材料和特殊設計,能夠在高溫環境下穩定運行。例如,某些高溫磁力泵的工作溫度范圍可達-45℃至400℃,甚至更高。節能高效:由聯軸器傳動變為同步拖動,不存在接觸和摩擦,功耗小、效率高。同時,無需獨立潤滑和冷卻水,降低了能耗。安全可靠:過載時,內、外磁轉子相對滑脫,對電機、泵有保護作用。當磁力傳動器的從動部件在過載情況下運行或轉子卡死時,磁力傳動器的主、從動部件會自動滑脫,保護機泵。維護簡便:結構簡單,運行穩定,維護成本低。例如,某些高溫磁力泵采用直聯后拉式設計,無需拆卸管道,維修方便。三、應用場景石油化工行業:用于輸送高溫油品、化學溶液等,確保生產過程的安全和高效。冶金行業:處理熔融金屬和高溫廢液,防止泄漏,保護環境。電力行業:用于冷卻系統和熱交換設備,處理高溫冷卻液,保證設備正常運行。制藥行業:輸送高溫藥液和溶劑,確保藥品生產的質量和安全。食品加工行業:提供穩定、衛生的輸送服務,滿足食品安全標準。四、注意事項介質純凈度:不允許有鐵磁雜質、顆粒進入磁力傳動器和軸承摩擦副。輸送含有固體顆粒的介質時,應在泵流管入口處過濾。溫度控制:應在規定溫度條件下運行,嚴禁介質溫度超標??稍诖帕Ρ酶綦x套外表面裝設鉑電阻溫度傳感器,檢測環隙區域的溫升...
發布時間: 2025 - 06 - 26
來源: 1256
水環式真空泵在電子晶圓真空吸附中應用廣泛,其特點與優勢如下:工作原理水環式真空泵葉輪偏心安裝在泵體內,啟動前向泵內注入一定高度的工作介質(常為常溫清水)。當葉輪旋轉時,水在離心力作用下在泵體壁內形成旋轉水環,葉片及兩側側板形成密閉腔。在前半轉(經過吸氣孔)旋轉過程中,密封容腔容積逐漸擴大,氣體由吸氣孔吸入;在后半轉(經過排氣孔)旋轉過程中,密封容腔容積逐漸縮小,氣體從排氣孔排出,同時排出一部分水,排出的水氣經氣液分離器分離后,水可循環使用。優勢特點結構與維護:結構簡單,制造精度要求不高,容易加工,維護成本低,周期長,適合長期連續運行。工藝適配:能提供較大抽氣量,在低真空度(2000~4000Pa)下表現良好,滿足晶圓吸附大流量、低真空度需求。氣體處理:等溫壓縮過程接近等溫,可避免氣體溫度過高,適合處理含水蒸氣等可凝性氣體,防止氣體在泵內凝結??刮廴荆簩Ψ蹓m和顆粒物不敏感,水環作為密封和冷卻介質,減少磨損,延長設備壽命。安全性:使用水作為工作介質,無油污染風險,等溫壓縮特性使其在處理易燃易爆氣體時安全性更高。經濟性:初始投資和運行成本較低,使用壽命長,適合大規模生產環境。適應性:可通過調節供水量、轉速等參數適應不同工藝需求,也可與其他真空設備組合使用。應用場景在電子半導體領域,水環式真空泵可用于燈泡排氣,電容、集成晶體管電路、LCD顯示器的生產,以及太陽能電池板的單晶硅、多晶硅生長爐,切割,真空層壓等生產環節。在電子晶圓真空吸附中,它能快速建立真空環境,穩定吸附晶圓,滿足半導體制造對潔凈度和穩定性的要求。
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